[实用新型]光阻烘烤装置和光阻烘烤设备

权利要求书

1.一种光阻烘烤装置，用于对涂布有光阻的待烘烤基板进行烘烤，包括由底板和盖板围合组成的烘烤腔体，其特征在于，还包括位于所述底板上的加热板以及与所述加热板电连接的控制器，所述加热板用于放置所述待烘烤基板；

其中，所述盖板在与所述加热板相对的一侧上设有多个阵列排布的温度调节组件，多个所述温度调节组件分别与所述控制器电连接，并通过所述控制器分别调节每个所述温度调节组件的加热温度。

2.根据权利要求1所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述盖板上还设有多个检测组件，多个所述检测组件与多个所述温度调节组件一一对应设置并用于检测所述待烘烤基板上不同位置的光阻厚度，多个所述检测组件还分别与所述控制器电连接并将所述光阻厚度发送给所述控制器，所述控制器根据所述光阻厚度对应设置第一补偿参数以调节所述温度调节组件的加热温度。

3.根据权利要求1所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述盖板上还设有多个温度感应组件，多个所述温度感应组件与多个所述温度调节组件一一对应设置并用于检测所述烘烤腔体内不同位置的实际温度，多个所述温度感应组件还分别与所述控制器电连接并将所述实际温度发送给所述控制器，所述控制器根据所述实际温度对应设置第二补偿参数以调节所述温度调节组件的加热温度。

4.根据权利要求1所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述加热板在远离所述底板的一侧放置所述待烘烤基板，所述加热板在靠近所述底板的一侧设有多个阵列排布的第一加热组件，多个所述第一加热组件分别与所述控制器电连接，并通过所述控制器分别调节每个所述第一加热组件的温度以对所述待烘烤基板进行加热。

5.根据权利要求4所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述盖板上的所述温度调节组件的数量大于所述加热板上的所述第一加热组件的数量。

6.根据权利要求1所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述温度调节组件包括依次设置的第二加热组件和挡板，所述挡板与所述待烘烤基板相对设置，所述控制器控制所述第二加热组件和所述挡板的开启和关闭状态。

7.根据权利要求6所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述第二加热组件包括电阻线圈，所述温度调节组件在远离所述挡板的一侧还设有风管，所述控制器控制所述风管的开启和关闭状态。

8.根据权利要求6所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述第二加热组件包括红外灯。

9.根据权利要求1所述的光阻烘烤装置，其特征在于，所述盖板至少在远离所述温度调节组件的一侧设有隔热组件。

10.一种光阻烘烤设备，其特征在于，所述光阻烘烤设备包括：如权利要求1至9中任一所述的光阻烘烤装置。