[实用新型]一种片篮专用夹爪机构

说明书

本实用新型提供了一种片篮专用夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板；所述基础安装板中心设有机械手连接座，顶部两侧靠近边缘的位置对称设有伸缩组件；所述夹爪安装板安装于伸缩组件上；所述夹爪安装板上安装有与片篮对应的挂钩；所述基础安装板四角设有对射安装板，对射安装板上对应设有用于检测片篮的浮起的对射传感器。本实用新型所述的一种片篮专用夹爪机构，与六轴机械手配合使用，可实现任意位置搬运，降低了工人劳动强度，提高了硅片上料效率，避免人体与硅片物料接触，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。

技术领域

本实用新型属于硅片自动清洗、搬运技术领域，尤其是涉及一种片篮专用夹爪机构。

背景技术

近年来，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内芯片产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。目前，在硅片清洗生产工艺中，大多需要人工进行取料搬运。人工取料搬运硅片时，因为人体的接触，容易出现危险，人身安全系数低，对硅片材质本身可能造成污染，随着技术发展，要求硅片尺寸越来越大。人工取料增加了安全隐患，增加了人工数量，增大了生产成本。所以自动硅片清洗、搬运上料机的出现是很有必要的。

市场上现有的硅片搬运上料机构，大部分都是简单的结构，只能简单的实现物料的夹取，且大部分的夹取装置，只能夹取平面机构，不能适应不同大小的硅片片篮夹取，由于使用环境的要求，大多数现有的硅片搬运上料机构，不具有旋转功能。简单的上料机构，不能系统的、不间断的形成硅片的上料生产。因此，在这种情况下，需要一种适用于多种尺寸硅片片篮的自动上料机，来解决以上产生的问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种片篮专用夹爪机构。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种片篮专用夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板；

所述基础安装板中心设有机械手连接座，顶部两侧靠近边缘的位置对称设有伸缩组件；所述夹爪安装板安装于伸缩组件上；所述夹爪安装板上安装有与片篮对应的挂钩；

所述基础安装板四角设有对射安装板，对射安装板上对应设有用于检测片篮的浮起的对射传感器。

所述伸缩组件采用但不限于气缸；所述夹爪安装板固定于气缸的活塞杆端部。

所述夹爪安装板上与基础安装板端面对应的位置设有螺纹孔，螺纹孔内对应设有限制气缸活塞杆缩短长度的调整螺杆。

所述夹爪安装板为异形结构件，上部为矩形，宽度小于基础安装板的宽度，上部与气缸的活塞杆端部固定；所述矩形的下部为一个梯形结构，梯形结构的底部两侧固定有挂钩块，挂钩块上设有挂钩。

所述基础安装板一角还设有用于检测片篮有无的传感器。

所述基础安装板上还设有若干用于增强机构整体强度的加强筋。

相对于现有技术，本实用新型具有以下优势：

与六轴机械手配合使用，可实现任意位置搬运。该设备降低了工人劳动强度，提高了硅片上料效率，避免人体与硅片物料接触，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的新型硅片搬运夹爪机构结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述的新型硅片搬运夹爪机构结构主视图；

图3为本实用新型实施例所述的新型硅片搬运夹爪机构结构俯视图；