[实用新型]湿法花篮

权利要求书

1.一种湿法花篮，其特征在于，包括第一支撑板、第二支撑板以及设置于所述第一支撑板和所述第二支撑板之间的多个花篮杆，所述多个花篮杆围成用于容置硅片的容置腔，所述容置腔具有用于所述硅片进出所述容置腔的容置开口，每个所述花篮杆朝向所述容置腔的一侧均沿轴向间隔设置有多个花篮齿，每个所述花篮杆的任意相邻两个所述花篮齿之间具有用于容置所述硅片的边缘的容置槽，且任意两个所述花篮杆的所述容置槽对应设置。

2.根据权利要求1所述的湿法花篮，其特征在于，每个所述花篮杆的横截面均为圆形。

3.根据权利要求2所述的湿法花篮，其特征在于，所述花篮杆为碳纤棒，且每个所述花篮杆的直径为15-25mm。

4.根据权利要求3所述的湿法花篮，其特征在于，所述花篮齿的齿高为12-16mm。

5.根据权利要求3所述的湿法花篮，其特征在于，所述花篮齿的齿宽为13-17mm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的湿法花篮，其特征在于，每个所述花篮杆上的所述多个花篮齿分为第一齿段和第二齿段，所述第一齿段和所述第二齿段沿所述花篮杆的轴向间隔分布，所述第一齿段和所述第二齿段之间具有分隔通道，在所述花篮杆的轴向上，所述分隔通道的宽度大于所述容置槽的宽度。

7.根据权利要求1-5任一项所述的湿法花篮，其特征在于，所述多个花篮杆分为沿第一预设方向间隔分布的多个第一花篮杆、沿第二预设方向间隔分布的多个第二花篮杆和沿所述第二预设方向间隔分布的多个第三花篮杆，所述第一预设方向与所述第二预设方向垂直；所述容置腔具有与所述容置开口相对的封闭底端，所述多个第一花篮杆分布于所述封闭底端；所述多个第二花篮杆和所述多个第三花篮杆位于所述多个第一花篮杆的靠近所述容置开口的一侧，并沿所述第一预设方向间隔分布于所述多个第一花篮杆在所述第一预设方向上的相对两侧。

8.根据权利要求7所述的湿法花篮，其特征在于，每个所述第二花篮杆的所述花篮齿和每个所述第三花篮杆的所述花篮齿均沿所述第一预设方向延伸。

9.根据权利要求7所述的湿法花篮，其特征在于，每个所述第一花篮杆的所述花篮齿均沿所述第二预设方向延伸。

10.一种湿法花篮，其特征在于，包括第一支撑板、第二支撑板以及设置于所述第一支撑板和所述第二支撑板之间的多个花篮杆，所述多个花篮杆围成用于容置硅片的容置腔，所述容置腔具有用于所述硅片进出所述容置腔的容置开口，所述花篮杆为碳纤棒，每个所述花篮杆的横截面均为圆形，且每个所述花篮杆的直径为15-25mm。