[实用新型]一种三氯化硼纯化尾气处理装置

说明书

本实用新型涉及化工设备技术领域，具体为一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括尾气管，所述尾气管上设置有进气口，且尾气管中固定安装有滑轨，所述滑轨中转动安装有丝杆，且丝杆上螺纹连接有螺母座，所述螺母座上固定安装有活动管，所述尾气管上固定连接有底座，且底座上设置有限位槽，所述限位槽中活动安装有限位球，且限位槽中转动安装有转杆，所述转杆上固定连接有叶片，且转杆上固定安装有刮板和下定位杆；通过尾气管和活动管构成尾气进气管，活动管能够将尾气定向排入到吸收液中，活动管不断的在尾气管中上下往复移动，避免尾气吸收反应发生在同一位置，给吸收溶液留有保持性质均匀的缓冲时间，保证吸收效果。

技术领域

本实用新型涉及化工设备技术领域，具体为一种三氯化硼纯化尾气处理装置。

背景技术

电子级高纯三氯化硼主要用作半导体硅的掺杂源，广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。近年来，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展，在电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中,存在尾气排放问题，电子工业用高纯三氯化硼净化装置排出的尾气主要成分为三氯化硼，如果直接对外放空，三氯化硼与空气中的水分发生剧烈反应，可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾，放出具有刺激性的氯化氢气体，对环境造成恶劣影响，所以现在三氯化硼制备装置多后置有尾气处理装置。

但是现在的尾气处理装置中，由于进气管的位置固定，在进气量大时，会造成吸收溶液的局部药剂含量不足，溶液性质不均匀，影响到尾气吸收效率，同时进气管的出口处还容易被反应产生的硼酸固体堵塞，引起反应迟缓乃至暂停，鉴于此，我们提出一种三氯化硼纯化尾气处理装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种三氯化硼纯化尾气处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括尾气管，所述尾气管上设置有进气口，且尾气管中固定安装有滑轨，所述滑轨中转动安装有丝杆，且丝杆上螺纹连接有螺母座，所述螺母座上固定安装有活动管，所述尾气管上固定连接有底座，且底座上设置有限位槽，所述限位槽中活动安装有限位球，且限位槽中转动安装有转杆，所述转杆上固定连接有叶片，且转杆上固定安装有刮板和下定位杆。

优选的，所述尾气管竖直安装在尾气吸收罐的顶部，且进气口设置在尾气管的侧面，且进气口上固定安装有连接法兰。

优选的，所述滑轨固定安装有尾气管的管壁上，且螺母座滑动安装在滑轨中，所述丝杆通过伺服电机驱动，所述活动管滑动安装在尾气管底部的通槽中。

优选的，所述底座通过螺栓安装在尾气管的顶部，且底座上设置有密封垫，所述限位球通过球面副安装在限位槽中，且转杆与限位球接触，所述叶片和刮板均安装在转杆的外壁上，且下定位杆与尾气管底部通槽高度一致。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过尾气管和活动管构成尾气进气管，活动管能够将尾气定向排入到吸收液中，同时通过丝杆传动结构，能够带动活动管不断的在尾气管中上下往复移动，使得活动管的位置不断改变，避免尾气吸收反应发生在同一位置，给吸收溶液留有保持性质均匀的缓冲时间，保证吸收效果；

2.本实用新型的尾气管中通过底座可拆卸的安装有一根转杆，在尾气净化过程中，尾气气流吹在叶片上，可以带动转杆发生转动，从而带动其上的刮板转动，配合活动管本身的移动，将活动管中的固体硼酸进行清除，防止造成活动管的堵塞，保证尾气顺畅的进入到吸收液中。

附图说明

图1为本实用新型结构的正视图；

图2为图1中A区域放大示意图。

图中：尾气管1、进气口2、滑轨3、丝杆4、螺母座5、活动管6、底座7、限位槽8、限位球9、转杆10、叶片11、刮板12、下定位杆13。

具体实施方式