[实用新型]一种三氯化硼纯化尾气处理装置

权利要求书

1.一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括尾气管(1)，其特征在于：所述尾气管(1)上设置有进气口(2)，且尾气管(1)中固定安装有滑轨(3)，所述滑轨(3)中转动安装有丝杆(4)，且丝杆(4)上螺纹连接有螺母座(5)，所述螺母座(5)上固定安装有活动管(6)，所述尾气管(1)上固定连接有底座(7)，且底座(7)上设置有限位槽(8)，所述限位槽(8)中活动安装有限位球(9)，且限位槽(8)中转动安装有转杆(10)，所述转杆(10)上固定连接有叶片(11)，且转杆(10)上固定安装有刮板(12)和下定位杆(13)。

2.根据权利要求1所述的一种三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：所述尾气管(1)竖直安装在尾气吸收罐的顶部，且进气口(2)设置在尾气管(1)的侧面，且进气口(2)上固定安装有连接法兰。

3.根据权利要求1所述的一种三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：所述滑轨(3)固定安装有尾气管(1)的管壁上，且螺母座(5)滑动安装在滑轨(3)中，所述丝杆(4)通过伺服电机驱动，所述活动管(6)滑动安装在尾气管(1)底部的通槽中。

4.根据权利要求1所述的一种三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：所述底座(7)通过螺栓安装在尾气管(1)的顶部，且底座(7)上设置有密封垫，所述限位球(9)通过球面副安装在限位槽(8)中，且转杆(10)与限位球(9)接触，所述叶片(11)和刮板(12)均安装在转杆(10)的外壁上，且下定位杆(13)与尾气管(1)底部通槽高度一致。