[实用新型]一种生产一氧化硅的卧式真空炉

说明书

本实用新型提供了一种生产一氧化硅的卧式真空炉，解决了用于生产一氧化硅的真空炉的密封性较差的问题。本实用新型采用两个分离、密封的原料盛放罐、成品收集罐，两者通过柔性的波纹管II连通，在进行真空抽取、加热反应时，密封的原料盛放罐和成品收集罐组成的内循环，完全不予外界接触，保证了产出成品的质量水平的稳定性；把原料盛放罐、成品收集罐采用互相分离式设计，各自可以独立移动，就使得取料、放料拆分为两个独立的步骤，使得放料时，管道以及成品收集罐内未冷却完毕的气态料可以继续冷却，无需一直等待气态料完全冷却完毕，才能再次加料，减少必要的取料次数，保证了生产的连续性，提高了真空炉的一氧化硅加工效率。

技术领域

本实用新型涉及真空炉，特别是指一种生产一氧化硅的卧式真空炉。

背景技术

一氧化硅是一种宽带隙半导体光学材料，是用于制备光学镀膜、锂离子电池负极材料的重要原料，其制备方法多为将金属硅与氧化硅的混合物在真空和高温下反应，生产一氧化硅的蒸汽，在低温下沉积。早期的一氧化硅生产装置仅是一个高氧化铝瓷质耐火管，其常开的一端内壁衬有钼质或镍质衬片，工作时，将混合好的二氧化碳和硅的混合原料置于管内封闭的一端，耐火管封闭抽真空后，直接在空气中加热管子表面，原料汽化后，沉积在耐火管另一端的钼片或镍片上，这种生产装置，由于直接在空气中加热高氧化铝瓷质耐火管，而其内又是抽真空的，因此很容易破裂，且生产效率低。

目前，国内一氧化硅的生产设备多为单体式真空炉，这种真空炉的密封性较差，导致批次生产出的一氧化硅的质量水平参差不齐，此外，成品的等待冷却时间也较长，制约了真空炉的生产效率。

实用新型内容

为了解决背景技术中所存在的用于生产一氧化硅的真空炉的密封性较差的问题，本实用新型提出了一种生产一氧化硅的卧式真空炉。

本实用新型的技术方案是：一种生产一氧化硅的卧式真空炉，包括外真空罐，外真空罐的左右两端均为开口结构，外真空罐的右开口处设有可拆卸的右封盖，外真空罐的左开口处设有可拆卸的左封盖，外真空罐内部设有竖向的隔热板，隔热板把外真空罐的内部空间隔离成左腔室和右腔室两个部分，右腔室内设有可移动的原料盛放罐，原料盛放罐的右端为开口结构，原料盛放罐的右端开口处设有可拆卸的原料密封盖，原料盛放罐的表面设有全覆盖的加热层，加热层的外侧全覆盖设有全覆盖的保温层，外真空罐上设有真空管接头I，真空管接头I的下端连接有柔性的波纹管I，波纹管I的下端密封嵌入原料盛放罐内，原料盛放罐的上部设有气态料出口，气态料出口与波纹管II的右端密封连接，波纹管II的左端穿过隔热板进入左腔室，左腔室内设有可移动的成品收集罐，成品收集罐的左端位开口结构，成品收集罐的左端开口处设有可拆卸的成品密封盖，成品收集罐的上部设有气态料入口，波纹管II的左端与气态料入口密封连接；波纹管II留有供原料盛放罐和成品收集罐左右移动的余量。

所述外真空罐的上部设有真空管接头II，真空管接头II的下端延伸至外真空罐的内部，隔热板供波纹管II的穿越孔处设有用于密封的密封圈。

所述原料盛放罐内部的上部设有用于扩大气态料出口收集气体面积的集气罩，集气罩为锥形罩结构，集气罩的上端与气态料出口下端连通。

所述成品收集罐的壁体内设有供冷却介质循环流通的空腔层，成品收集罐的上部设有与空腔层连接的冷却介质入口接头I，成品收集罐的下部设有与空腔层连接的冷却介质出口接头I；外真空罐的上部设有冷却介质入口接头II，冷却介质入口接头II通过柔性管与冷却介质入口接头I连接，外真空罐的下部设有冷却介质出口接头II，冷却介质出口接头II通过柔性管与冷却介质出口接头I。

所述原料盛放罐固定设在下方的移动底座I上，移动底座I的底部设有与外真空罐的内壁滚动接触的滚轮I，右腔室内设有水平的气缸I，气缸I的缸体左端固定设在隔热板上，移动底座I的左部设有水平槽I，气缸I插入水平槽I内，气缸I的活塞杆右端与水平槽I的右端面固定连接。