[实用新型]一种生产一氧化硅的卧式真空炉

权利要求书

1.一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于：包括外真空罐(1)，外真空罐(1)的左右两端均为开口结构，外真空罐(1)的右开口处设有可拆卸的右封盖(3)，外真空罐(1)的左开口处设有可拆卸的左封盖(4)，外真空罐(1)内部设有竖向的隔热板(2)，隔热板(2)把外真空罐(1)的内部空间隔离成左腔室和右腔室两个部分，右腔室内设有可移动的原料盛放罐(5)，原料盛放罐(5)的右端为开口结构，原料盛放罐(5)的右端开口处设有可拆卸的原料密封盖(6)，原料盛放罐(5)的表面设有全覆盖的加热层(7)，加热层(7)的外侧全覆盖设有全覆盖的保温层(8)，外真空罐(1)上设有真空管接头I(9)，真空管接头I(9)的下端连接有柔性的波纹管I，波纹管I的下端密封嵌入原料盛放罐(5)内，原料盛放罐(5)的上部设有气态料出口(11)，气态料出口(11)与波纹管II(12)的右端密封连接，波纹管II(12)的左端穿过隔热板(2)进入左腔室，左腔室内设有可移动的成品收集罐(13)，成品收集罐(13)的左端位开口结构，成品收集罐(13)的左端开口处设有可拆卸的成品密封盖(14)，成品收集罐(13)的上部设有气态料入口(25)，波纹管II(12)的左端与气态料入口(25)密封连接；波纹管II(12)留有供原料盛放罐(5)和成品收集罐(13)左右移动的余量。

2.如权利要求1所述的一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于：外真空罐(1)的上部设有真空管接头II(26)，真空管接头II(26)的下端延伸至外真空罐(1)的内部，隔热板(2)供波纹管II(12)的穿越孔处设有用于密封的密封圈。

3.如权利要求1所述的一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于：原料盛放罐(5)内部的上部设有用于扩大气态料出口(11)收集气体面积的集气罩(10)，集气罩(10)为锥形罩结构，集气罩(10)的上端与气态料出口(11)下端连通。

4.如权利要求1所述的一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于：成品收集罐(13)的壁体内设有供冷却介质循环流通的空腔层(24)，成品收集罐(13)的上部设有与空腔层(24)连接的冷却介质入口接头I(15)，成品收集罐(13)的下部设有与空腔层(24)连接的冷却介质出口接头I(16)；外真空罐(1)的上部设有冷却介质入口接头II(17)，冷却介质入口接头II(17)通过柔性管与冷却介质入口接头I(15)连接，外真空罐(1)的下部设有冷却介质出口接头II(18)，冷却介质出口接头II(18)通过柔性管与冷却介质出口接头I(16)。

5.如权利要求1所述的一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于：原料盛放罐(5)固定设在下方的移动底座I(19)上，移动底座I(19)的底部设有与外真空罐(1)的内壁滚动接触的滚轮I，右腔室内设有水平的气缸I(20)，气缸I(20)的缸体左端固定设在隔热板(2)上，移动底座I(19)的左部设有水平槽I，气缸I(20)插入水平槽I内，气缸I(20)的活塞杆右端与水平槽I的右端面固定连接。

6.如权利要求1所述的一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于：成品收集罐(13)固定设在下方的移动底座II(21)上，移动底座II(21)的底部设有与外真空罐(1)的内壁滚动接触的滚轮II(23)，移动底座II(21)的右部设有水平槽II，左腔室内设有水平的气缸II(22)，气缸II(22)的缸体右端与隔热板(2)固定连接，气缸II(22)插入水平槽II内，气缸II(22)的活塞杆左端与水平槽II的左端面固定连接。