[实用新型]一种光罩盒气阀

说明书

本实用新型公开了一种光罩盒气阀，包括气阀，气阀由气阀外壳、活塞、导向杆、弹簧和调节环组成，气阀外壳的内部加工成型有气体腔道，气阀外壳的顶部呈倾斜状开设有出气口且底部形成有进气口，活塞活动设置于进气口处且内部开设有穿口，导向杆穿插于穿口内，弹簧套嵌于导向杆的上端且下端内嵌于活塞内，调节环水平设置于气体腔道内且包括主环和固定在主环内部的十字杆，十字杆与主环之间形成有透气槽口且中部加工成型有导向筒，导向杆的上端活动设置于导向筒内。本实用新型简化了内部的结构并且由五组部件组成，减小了气阀在使用过程中出现零部件损坏的概率，并且该气阀结构简单，便于生产和使用，使得气阀更加轻量化。

技术领域

本实用新型涉及光罩盒技术领域，具体为一种光罩盒气阀。

背景技术

随着科技的进步，微电子工业的制造技术一日千里，其中微影制程扮演着十分重要的角色。微影制程包括形成光阻层、曝光与显影(development)等步骤，微影制程是将设计好的线路图案，完整且精确地复制到基板(例如为晶圆或具有铜箔层的电路板)上。设计好的图案会先制作成光罩，再应用光学成像的原理，将图案投影至基板上。因此，光罩的保护及清洁会影响微影制程的优劣。光罩通常存放在光罩盒中。光罩盒通常设置有支撑座以支撑光罩。光罩通常需以单一特定的摆设方向摆放于光罩盒中，以避免支撑座损伤光罩中用以保护光罩图案的薄膜。然而，在微影制程前，光罩需进行保养、清洗及检查，光罩盒上通常会安装有气阀，以保证内部的密封性。

然而，现有的光罩盒用气阀在使用的过程中存在以下的问题：(1)现有的光罩盒气阀的内部结构较为复杂且零部件较多，在使用的过程中容易出现内部部件损坏的情况；(2)现有的光罩盒气阀内部腔体多为直线结构，在长时间的使用过程中容易产生气密性问题，出现漏气的情况。为此，需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩盒气阀，解决了现有的光照盒气阀的内部结构较为复杂且零部件较多，在使用的过程中容易出现内部部件损坏的情况，这一技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩盒气阀，包括气阀，所述气阀由气阀外壳、活塞、导向杆、弹簧和调节环组成，所述气阀外壳的内部加工成型有气体腔道，所述气阀外壳的顶部呈倾斜状开设有出气口且底部形成有进气口，所述活塞活动设置于进气口处且内部开设有穿口，所述导向杆穿插于穿口内，所述弹簧套嵌于导向杆的上端且下端内嵌于活塞内，所述调节环水平设置于气体腔道内且包括主环和固定在主环内部的十字杆，所述十字杆与主环之间形成有透气槽口且中部加工成型有导向筒，所述导向杆的上端活动设置于导向筒内。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述气阀外壳的顶部呈球面结构且开口处加工成型有对接口。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述气体腔道与进气口之间呈反S结构，所述进气口与出气口的内径小于气体腔道的内径。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述进气口与气体腔道的连接处加工成型有环形限位槽，所述活塞的外围加工成型有配合环形限位槽使用的密封环。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述导向杆的末端加工成型有限位凸块，所述限位凸块的直径大于穿口的内径且与穿口的底部相接触。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本方案对光罩盒气阀的结构进行了改进，简化了内部的结构并且由五组部件组成，减小了气阀在使用过程中出现零部件损坏的概率，并且该气阀结构简单，便于生产和使用，使得气阀更加轻量化。

2.对气阀的内部腔体设计为反S斜面密封，相对于现有的直线式腔体具有更好的密封效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体爆炸示意图；

图2为本实用新型的整体剖面结构图。