[实用新型]一种光罩盒气阀有效
| 申请号： | 202021943884.1 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN213017910U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 喻成虎 | 申请（专利权）人： | 上海赛瑾精密科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K15/06 | 分类号： | F16K15/06;F16K27/02;F16K27/12;F16K15/18;G03F1/66 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 200124 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光罩盒 气阀 | ||
1.一种光罩盒气阀，包括气阀，其特征在于：所述气阀由气阀外壳(1)、活塞(2)、导向杆(3)、弹簧(4)和调节环(5)组成，所述气阀外壳(1)的内部加工成型有气体腔道(6)，所述气阀外壳(1)的顶部呈倾斜状开设有出气口(7)且底部形成有进气口(8)，所述活塞(2)活动设置于进气口(8)处且内部开设有穿口(9)，所述导向杆(3)穿插于穿口(9)内，所述弹簧(4)套嵌于导向杆(3)的上端且下端内嵌于活塞(2)内，所述调节环(5)水平设置于气体腔道(6)内且包括主环(10)和固定在主环(10)内部的十字杆(11)，所述十字杆(11)与主环(10)之间形成有透气槽口(12)且中部加工成型有导向筒(13)，所述导向杆(3)的上端活动设置于导向筒(13)内。
2.根据权利要求1所述的一种光罩盒气阀，其特征在于：所述气阀外壳(1)的顶部呈球面结构且开口处加工成型有对接口(14)。
3.根据权利要求1所述的一种光罩盒气阀，其特征在于：所述气体腔道(6)与进气口(8)之间呈反S结构，所述进气口(8)与出气口(7)的内径小于气体腔道(6)的内径。
4.根据权利要求3所述的一种光罩盒气阀，其特征在于：所述进气口(8)与气体腔道(6)的连接处加工成型有环形限位槽(15)，所述活塞(2)的外围加工成型有配合环形限位槽(15)使用的密封环(16)。
5.根据权利要求1所述的一种光罩盒气阀，其特征在于：所述导向杆(3)的末端加工成型有限位凸块(17)，所述限位凸块(17)的直径大于穿口(9)的内径且与穿口(9)的底部相接触。
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