[实用新型]一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源

权利要求书

1.一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，其特征在于：包括加热装置、电离装置与真空紫外光源；

所述加热装置包括离子源加热体、隔热环、离子源固定法兰与锥孔电极，所述离子源加热体为圆筒状结构，所述隔热环与所述离子源固定法兰为环形平板结构；所述隔热环设置于所述离子源加热体的一端，所述离子源固定法兰设置于所述隔热环的一端，所述锥孔电极设置于所述离子源固定法兰的一端，所述离子源加热体、所述隔热环、所述离子源固定法兰及所述锥孔电极为同轴设置；

所述电离装置包括光源固定法兰、离子源导热环、电极固定法兰、电离组件、离子源固定螺栓与离子源密封螺栓；所述离子源导热环为圆筒状结构，所述光源固定法兰与所述电极固定法兰为环状平板结构，所述光源固定法兰设置于所述离子源导热环的一端，所述电极固定法兰设置于所述离子源导热环的另一端，所述电离组件设置于所述离子导热环内；所述电离装置安装于所述离子源加热体内；所述真空紫外光源设置于所述光源固定法兰的外侧；

所述电离装置设有若干个贯穿所述光源固定法兰、所述离子源导热环及所述电极固定法兰的安装孔，所述安装孔在所述光源固定法兰的部分设有螺纹；所述离子源密封螺栓为若干个，所述离子源密封螺栓穿过所述安装孔依次将所述电极固定法兰、离子源导热环和所述光源固定法兰固定，所述离子源密封螺栓与所述光源固定法兰为螺纹连接；

所述电离装置还设有若干个贯穿所述光源固定法兰、所述离子源导热环及所述电极固定法兰的固定孔，所述隔热环及所述离子源固定法兰设有若干个与所述固定孔一一对应的固定螺纹孔，所述离子源固定螺栓从所述光源固定法兰一端穿过所述固定孔与所述固定螺纹孔连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，其特征在于：所述加热装置还包括加热棒和温度传感器，所述离子源加热体的另一端设有加热孔与感温孔；所述加热棒设置于所述加热孔内，所述温度传感器设置于所述感温孔内。

3.根据权利要求1所述的一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，其特征在于：所述电离组件包括电极绝缘同轴件、进样电极、传输电极、电极密封圈、进样电极绝缘垫、传输电极绝缘垫和进样管路；

所述电极绝缘同轴件为圆筒状结构，所述电极绝缘同轴件设置于所述离子源导热环内；

所述进样电极与所述传输电极为环状结构，所述传输电极至少为两个，所述进样电极沿径向设有圆形通孔，所述圆形通孔的一端连通于所述进样电极的内壁，另一端为封闭结构；所述进样电极与所述传输电极设置于所述电极绝缘同轴件内，所述进样电极靠近所述光源固定法兰设置，所述进样电极绝缘垫设置于进样电极与所述光源固定法兰之间；所述进样管路的一端与外部连通，所述进样管路的另一端贯穿所述光源固定法兰及所述进样电极绝缘垫，并与所述圆形通孔的另一端连通；

所述传输电极绝缘垫为多个，所述传输电极与所述电极固定法兰之间、相邻两个所述传输电极之间以及所述传输电极与所述进样电极之间分别设有所述传输电极绝缘垫。

4.根据权利要求3所述的一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，其特征在于：所述电离装置还包括电极密封圈与光源密封圈，各个所述电极密封圈分别套设于各所述传输电极绝缘垫和所述进样电极密封圈的外侧；所述光源密封圈设置于所述真空紫外光源与所述光源固定法兰之间；

所述加热装置还包括离子源密封圈与锥孔密封圈，所述离子源密封圈设置于所述电极固定法兰与所述离子源固定法兰之间，所述锥孔密封圈设置于所述锥孔电极与所述离子源固定法兰之间。

5.根据权利要求3所述的一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，其特征在于：所述进样管路为不锈钢、钝化的不锈钢金属、PEEK塑料或石英材质；所述进样管路的内径为0.075～0.5mm。

6.根据权利要求3所述的一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，其特征在于：所述进样电极、所述传输电极绝缘垫、所述传输电极、所述电极固定法兰及所述隔热环的中间小孔直径大小为2～20mm。

7.根据权利要求3所述的一种用于质谱分析仪的真空紫外光电离源，其特征在于：锥孔电极的锥孔直径为0.2～2mm。