[实用新型]一种用于承载掩膜板的载板

说明书

本实用新型公开了一种用于承载掩膜板的载板，包括板体，所述板体正面凹设有若干排容置腔组，每一排容置腔组均包括多个间隔设置的用于承载掩膜板的容置腔，每一所述容置腔均包括一凹槽及设于所述凹槽内并沿所述凹槽四周设置的棱台，所述棱台上表面不高出所述板体正面，所述棱台上凸设有用于与所述掩膜板上的连接孔配合的连接柱。本实用新型的用于承载掩膜板的载板可一次承载多个掩膜板，棱台上的连接柱与掩膜板的连接孔连接，使得掩膜板100可快速且精准的被放置于容置腔内，提高了沉积速度，利于工业批量化生产，提高效率，节省成本。且弹性块可在沉积完成后将容置腔内的掩膜板弹出，以便于取出掩膜板，进一步提高制作效率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种用于承载掩膜板的载板。

背景技术

HIBC(Hetero-junction Back Contact Cell，异质结背接触耦合电池)是将HIT技术运用于IBC结构的电池，HIBC电池与HIT电池相比最大的特点是HIBC电池的前表面没有栅线和电极，极大地降低了栅线和电极对太阳光的遮挡而造成光损失，确保了HIBC电池具有高的短路电流(Isc)和高的填充因子(FF)。在HIBC电池的硅衬底的正面先生长一个钝化层，再沉积SiNx减反膜降低反射率；背面则先沉积一层本征非晶硅层，再沉积呈指状交叉分布的N型非晶硅层和P型非晶硅层，最后用金属化工艺制备HIBC电池背面的正、负电极。

其中，在沉积HIBC的N型非晶硅层和P型非晶硅层的过程中，需通过掩膜板遮挡完成，且通常为一掩膜板与一衬底相对固定形成一组进行单独沉积，这样不仅效率低，不利于批量化生产，且掩膜板与衬底的相对固定误差大。

实用新型内容

鉴于上述，本实用新型提供一种用于承载掩膜板的载板，以提高非晶硅层的沉积效率，利于工业批量化生产，并降低掩膜板与衬底的固定误差。

本实用新型提出的具体技术方案为：提供一种用于承载掩膜板的载板，包括板体，所述板体正面凹设有若干排容置腔组，每一排容置腔组均包括多个间隔设置的用于承载掩膜板的容置腔，每一所述容置腔均包括一凹槽及设于所述凹槽内并沿所述凹槽四周设置的棱台，所述棱台上表面不高出所述板体正面，所述棱台上凸设有用于与所述掩膜板上的连接孔配合的连接柱。

优选地，所述板体上同一排中两相邻的所述容置腔之间横设有条形的安装孔，所述安装孔沿所述板体厚度方向上的投影同时覆盖两相邻的所述凹槽之间的间距及与所述间距相邻的两所述棱台，所述安装孔的深度大于所述棱台上表面距所述板体正面的高度。

优选地，同一排中两相邻的所述容置腔之间设有多个所述安装孔，多个所述安装孔竖向间隔设置。

优选地，所述安装孔为盲孔，还包括嵌于所述盲孔内的弹性块，所述弹性块可在外力作用下伸出所述安装孔，伸出所述安装孔的所述弹性块的上表面高于所述板体正面。

优选地，所述凹槽的底部设有多个定位孔，多个所述定位孔分布于所述凹槽底部四周。

优选地，所述板体采用石英材料制作而成。

与现有技术相比，本实用新型的用于承载掩膜板的载板可一次承载多个掩膜板，棱台上的连接柱与掩膜板的连接孔连接，使得掩膜板可快速且精准的被放置于容置腔内，提高了沉积速度，利于工业批量化生产，提高效率，节省成本。且弹性块可在沉积完成后将容置腔内的掩膜板弹出，以便于取出掩膜板，进一步提高制作效率。

附图说明

图1为掩膜板的结构示意图；

图2本实用新型示例性的用于承载掩膜板的载板的俯视示意图；

图3本实用新型示例性的用于承载掩膜板的载板的局部立体示意图；

图4为图3中A部的放大示意图；

图5本实用新型示例性的用于承载掩膜板中弹性块伸出安装孔的立体示意图；