[实用新型]一种用于承载掩膜板的载板

权利要求书

1.一种用于承载掩膜板的载板，其特征在于，包括板体，所述板体正面凹设有若干排容置腔组，每一排容置腔组均包括多个间隔设置的用于承载掩膜板的容置腔，每一所述容置腔均包括一凹槽及设于所述凹槽内并沿所述凹槽四周设置的棱台，所述棱台上表面不高出所述板体正面，所述棱台上凸设有用于与所述掩膜板上的连接孔配合的连接柱。

2.根据权利要求1所述的用于承载掩膜板的载板，其特征在于，所述板体上同一排中两相邻的所述容置腔之间横设有条形的安装孔，所述安装孔沿所述板体厚度方向上的投影同时覆盖两相邻的所述凹槽之间的间距及与所述间距相邻的两所述棱台，所述安装孔的深度大于所述棱台上表面距所述板体正面的高度。

3.根据权利要求2所述的用于承载掩膜板的载板，其特征在于，同一排中两相邻的所述容置腔之间设有多个所述安装孔，多个所述安装孔竖向间隔设置。

4.根据权利要求2或3所述的用于承载掩膜板的载板，其特征在于，所述安装孔为盲孔，还包括嵌于所述盲孔内的弹性块，所述弹性块可在外力作用下伸出所述安装孔，伸出所述安装孔的所述弹性块的上表面高于所述板体正面。

5.根据权利要求1所述的用于承载掩膜板的载板，其特征在于，所述凹槽的底部设有多个定位孔，多个所述定位孔分布于所述凹槽底部四周。

6.根据权利要求1所述的用于承载掩膜板的载板，其特征在于，所述板体采用石英材料制作而成。