[实用新型]多晶硅尾气回收系统

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅尾气回收系统，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的多晶硅尾气回收系统。本实用新型的主要技术方案为：一种多晶硅尾气回收系统，包括：分离罐，分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气；换热部件，第一氢气管道设置在第一尾气管道的外部，循环水管道设置在第二尾气管道的外部，冷冻水管道设置在第一液体管道的外部，氯硅烷管道设置在第一气体管道的外部，第一气体管道连接于第一液体管道，第一尾气管道连接于第二尾气管道，第二尾气管道连接于第一液体管道，第一液体管道连接于分离罐，第二液体管道连接于分离罐。本实用新型主要用于尾气热能回收。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种多晶硅尾气回收系统。

背景技术

目前大部分多晶硅企业的尾气回收工序都采用的改良西门子法进行还原尾气回收利用，改良西门子法中的低压多级冷凝过程最初采用四级冷凝工艺，一级冷凝将还原炉产生的还原尾气采用29℃的循环水进行冷却，二级冷凝对四级冷凝后的气相物料中冷量进行回收，三级冷凝采用-15℃乙二醇溶液进行冷却，四级冷凝为采用-45℃氟利昂制冷剂进行冷却，通过以上四级冷凝从而达到将还原尾气中的四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅、氯化氢、氢气进行冷凝分离为液相与气相两部分，气相部分送至压缩系统加压再纯化，液相部分送至解析系统继续分离，随着工艺的不断优化，尾气回收低压冷凝工艺将四级冷凝优化为五级冷凝，及在循环水换热器之前增加一级送还原氢气与还原尾气换热回收还原尾气中的部分热量，但是，尾气的热利用效率依然不高，部分热量随着冷却水流失，从而增加了热能的消耗。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种多晶硅尾气回收系统，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的多晶硅尾气回收系统。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种多晶硅尾气回收系统，该系统包括：

分离罐，所述分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气；

换热部件，所述换热部件包括氢气换热器、循环水换热器、冷冻水换热器和氯硅烷换热器，所述氢气换热器包括第一尾气管道和第一氢气管道，所述第一氢气管道设置在所述第一尾气管道的外部，所述循环水换热器包括第二尾气管道和循环水管道，所述循环水管道设置在所述第二尾气管道的外部，所述冷冻水换热器包括第一液体管道和冷冻水管道，所述冷冻水管道设置在所述第一液体管道的外部，所述氯硅烷换热器包括第一气体管道、第二液体管道和氯硅烷管道，所述氯硅烷管道设置在所述第一气体管道的外部，所述第一气体管道连接于所述第一液体管道，所述第一尾气管道连接于所述第二尾气管道，所述第二尾气管道连接于所述第一液体管道，所述第一液体管道连接于所述分离罐，所述第二液体管道连接于所述分离罐。

进一步的，输送泵，所述输送泵的一端连接于所述分离罐，另一端连接于所述氯硅烷管道。

进一步的，所述换热部件还包括中间换热器，所述中间换热器包括第二气体管道和第二氢气管道，所述第二气体管道连接于所述第一气体管道，所述第二氢气管道设置在所述第二气体管道的外部，所述第二氢气管道的一端连接于所述分离罐，另一端连接于压缩系统。

进一步的，所述换热部件还包括乙二醇换热器，所述乙二醇换热器包括第三液体管道和乙二醇管道，所述第三液体管道连接于所述第二气体管道，所述乙二醇管道设置在所述第三液体管道的外部。

进一步的，所述换热部件还包括氟利昂换热器，所述氟利昂换热器包括第四液体管道和氟利昂管道，所述第四液体管道的一端连接于所述第三液体管道，另一端连接于所述分离罐，所述氟利昂管道设置在所述第四液体管道的外部。

进一步的，温度检测部件，所述温度检测部件分别设置在所述氢气换热器、所述循环水换热器、所述冷冻水换热器、所述氯硅烷换热器、所述中间换热器、所述乙二醇换热器和所述氟利昂换热器内部。