[实用新型]多晶硅尾气回收系统

权利要求书

1.一种多晶硅尾气回收系统，其特征在于，包括：

分离罐，所述分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气；

换热部件，所述换热部件包括氢气换热器、循环水换热器、冷冻水换热器和氯硅烷换热器，所述氢气换热器包括第一尾气管道和第一氢气管道，所述第一氢气管道设置在所述第一尾气管道的外部，所述循环水换热器包括第二尾气管道和循环水管道，所述循环水管道设置在所述第二尾气管道的外部，所述冷冻水换热器包括第一液体管道和冷冻水管道，所述冷冻水管道设置在所述第一液体管道的外部，所述氯硅烷换热器包括第一气体管道、第二液体管道和氯硅烷管道，所述氯硅烷管道设置在所述第一气体管道的外部，所述第一气体管道连接于所述第一液体管道，所述第一尾气管道连接于所述第二尾气管道，所述第二尾气管道连接于所述第一液体管道，所述第一液体管道连接于所述分离罐，所述第二液体管道连接于所述分离罐。

2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，还包括：

输送泵，所述输送泵的一端连接于所述分离罐，另一端连接于所述氯硅烷管道。

3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，

所述换热部件还包括中间换热器，所述中间换热器包括第二气体管道和第二氢气管道，所述第二气体管道连接于所述第一气体管道，所述第二氢气管道设置在所述第二气体管道的外部，所述第二氢气管道的一端连接于所述分离罐，另一端连接于压缩系统。

4.根据权利要求3所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，

所述换热部件还包括乙二醇换热器，所述乙二醇换热器包括第三液体管道和乙二醇管道，所述第三液体管道连接于所述第二气体管道，所述乙二醇管道设置在所述第三液体管道的外部。

5.根据权利要求4所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，

所述换热部件还包括氟利昂换热器，所述氟利昂换热器包括第四液体管道和氟利昂管道，所述第四液体管道的一端连接于所述第三液体管道，另一端连接于所述分离罐，所述氟利昂管道设置在所述第四液体管道的外部。

6.根据权利要求5所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，还包括：

温度检测部件，所述温度检测部件分别设置在所述氢气换热器、所述循环水换热器、所述冷冻水换热器、所述氯硅烷换热器、所述中间换热器、所述乙二醇换热器和所述氟利昂换热器内部。

7.根据权利要求1至6任一项所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，

所述冷冻水换热器还包括第五液体管道，所述第五液体管道的一端连接于所述第一液体管道，另一端连接于所述第二液体管道。

8.根据权利要求7所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，还包括：

单向阀，所述单向阀设置在所述第二液体管道上，并且靠近所述氯硅烷换热器。