[实用新型]一种单晶硅片的双面抛光装置

权利要求书

1.一种单晶硅片的双面抛光装置，包括用于盛放磨削液的液体容器；所述的液体容器底部设置有旋转驱动部；所述的液体容器内设置有第一涡轮；所述的涡轮与旋转驱动部相接，其特征在于：所述的液体容器上侧设置有硅片托盘；所述的硅片托盘设置有硅片夹持机构；所述的硅片托盘上侧连接有旋转机构；所述的旋转机构包括第一主轴和第二主轴；所述的第一主轴和第二主轴之间通过反转齿轮箱相接；所述的第一主轴上设置第二涡轮；所述的硅片托盘设置于第二主轴底部。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的双面抛光装置，其特征在于：所述的液体容器固定设置在升降台上；所述的旋转驱动部连接于升降台；所述的液体容器相对硅片托盘上下运动；所述的液体容器上侧开设有硅片放入口。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的双面抛光装置，其特征在于：所述的旋转机构还包括驱动电机；所述的第一主轴与电机输出轴固定连接；所述的反转齿轮箱包括箱体外壳；所述的第一主轴和第二主轴分别与箱体外壳转动连接。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片的双面抛光装置，其特征在于：所述的箱体外壳内部两侧设置有第一伞齿轮；所述的第一主轴和第二主轴位于箱体外壳内的端部设置有第二伞齿轮。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片的双面抛光装置，其特征在于：所述的第一伞齿轮和第二伞齿轮相互啮合；所述的第一伞齿轮和第二伞齿轮分别通过螺母和轴承连接于第一主轴和第二主轴上。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片的双面抛光装置，其特征在于：所述的螺母于第一伞齿轮以及第二伞齿轮之间设置有垫片。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的双面抛光装置，其特征在于：所述的旋转机构通过固定支架设置在所述液体容器的外侧；所述的第一涡轮相对硅片托盘反向转动；所述的硅片托盘内侧开设有与硅片形状相匹配的通孔。

8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片的双面抛光装置，其特征在于：所述的通孔内侧设置有内凸沿；所述的夹持机构包括开设于所述内凸沿上的真空吸附孔。