[实用新型]激光切割用加工晶圆转运结构

说明书

本实用新型公开了一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框和限位装置，所述安装框上端与提手固定连接，且安装框侧壁与定位块固定连接，同时安装框内部固定连接有晶圆固定板，并且晶圆固定板内部开设有卡槽，安装框底部与卡扣固定连接，且安装框底部设置在转运装置内部，同时转运装置内壁上固定连接有定位轨道，同时转运装置外壁右下侧开设有凹槽；所述限位装置固定安装在转运装置内部下侧，且限位装置左侧安装有定位管，同时定位管右侧安装有定位柱。该激光切割用加工晶圆转运结构，卡块向左移动，此时卡块对卡扣失去固定力，通过提手，向上拉动安装框，即可将安装框从转运装置内部取出，便于与将晶圆从安装框内部取出。

技术领域

本实用新型涉及晶圆转运装置领域，具体为一种激光切割用加工晶圆转运结构。

背景技术

在实际晶圆运输过程中，需要使用到晶圆盒对晶圆进行转运，对晶圆进行保护和运输作业，经过检索，现有技术公开(申请号：CN201821859026.1) 一种能降低晶圆运输报废的晶圆盒，文中提出“包括晶圆盒主体,所述晶圆盒主体的内部左右两侧内壁上设有若干组的盒内卡槽，所述晶圆盒的前侧嵌入安装有晶圆盒盖，所述晶圆盒盖的内侧设有晶圆盒盖卡槽，所述晶圆盒主体内部左右底三侧内壁上设有盒内卡槽固定槽，所述晶圆盒主体内部还设有隔板，”晶圆盒主体为一体式设置，在将晶圆从其内部取出的时候，十分不便，针对上述中存在的问题，遂有本案产生。

为了解决目前市场上所存在的缺点，从而提出一种激光切割用加工晶圆转运结构来解决上述提出的问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服背景技术中提到的缺陷，提供一种激光切割用加工晶圆转运结构。所述卡块、卡扣、安装框和转运装置具有卡块向左移动，此时卡块对卡扣失去固定力，通过提手，向上拉动安装框，即可将安装框从转运装置内部取出，便于与将晶圆从安装框内部取出的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框和限位装置，所述安装框上端与提手固定连接，且安装框侧壁与定位块固定连接，同时安装框内部固定连接有晶圆固定板，并且晶圆固定板内部开设有卡槽，安装框底部与卡扣固定连接，且安装框底部设置在转运装置内部，同时转运装置内壁上固定连接有定位轨道，同时转运装置外壁右下侧开设有凹槽；

所述限位装置固定安装在转运装置内部下侧，且限位装置左侧安装有定位管，同时定位管右侧安装有定位柱，定位柱右端与卡块固定连接，并且卡块内部开设有开孔，开孔右端与传动杆固定连接，且传动杆右端穿过转运装置的壁板与按压块固定连接。

优选的，所述安装框的两端均固定连接有两组定位块，且定位块内部开设有两组定位槽，定位块与定位槽的尺寸相适配，同时安装框通过其两端的定位块滑动连接在定位槽内部。

优选的，所述安装框是由金属材质做成的“回”字形结构，且安装框在转运装置、内部为可拆卸设置。

优选的，所述定位管内部开设有与定位柱尺寸相适配的定位孔，定位柱插接在定位孔内部，定位管左侧通过安装板安装在转运装置内部下侧，定位管与安装板组合在一起为 “L”形设置。

优选的，所述卡块是由金属材质做成的矩形结构，且卡块内部开设有下倾斜面，下倾斜面与上倾斜面平行设置，同时下倾斜面与上倾斜面接触连接，下倾斜面倾斜49°设置。

优选的，所述卡块为横向移动结构，且卡块内部的开孔尺寸大于卡扣的尺寸，同时卡扣的下端为直角梯形设置。

优选的，所述传动杆上套接有复位弹簧，且复位弹簧设置在卡块与转运装置的内壁之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.卡扣的下端穿过开孔；复位弹簧失去拉升力，复位弹簧复位，卡接在卡块的底部，完成安装框在转运装置内部的固定工作；