[实用新型]激光切割用加工晶圆转运结构

权利要求书

1.一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框（2）和限位装置（10），其特征在于：所述安装框（2）上端与提手（1）固定连接，且安装框（2）侧壁与定位块（6）固定连接，同时安装框（2）内部固定连接有晶圆固定板（3），并且晶圆固定板（3）内部开设有卡槽（4），安装框（2）底部与卡扣（9）固定连接，且安装框（2）底部设置在转运装置（5）内部，同时转运装置（5）内壁上固定连接有定位轨道（7），同时转运装置（5）外壁右下侧开设有凹槽（18）；

所述限位装置（10）固定安装在转运装置（5）内部下侧，且限位装置（10）左侧安装有定位管（11），同时定位管（11）右侧安装有定位柱（12），定位柱（12）右端与卡块（14）固定连接，并且卡块（14）内部开设有开孔（15），开孔（15）右端与传动杆（17）固定连接，且传动杆（17）右端穿过转运装置（5）的壁板与按压块（8）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述安装框（2）的两端均固定连接有两组定位块（6），且定位块（6）内部开设有两组定位槽，定位块（6）与定位槽的尺寸相适配，同时安装框（2）通过其两端的定位块（6）滑动连接在定位槽内部。

3.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述安装框（2）是由金属材质做成的“回”字形结构，且安装框（2）在转运装置（5）、内部为可拆卸设置。

4.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述定位管（11）内部开设有与定位柱（12）尺寸相适配的定位孔，定位柱（12）插接在定位孔内部，定位管（11）左侧通过安装板安装在转运装置（5）内部下侧，定位管（11）与安装板组合在一起为“L”形设置。

5.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述卡块（14）是由金属材质做成的矩形结构，且卡块（14）内部开设有下倾斜面（19），下倾斜面（19）与上倾斜面（13）平行设置，同时下倾斜面（19）与上倾斜面（13）接触连接，下倾斜面（19）倾斜49°设置。

6.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述卡块（14）为横向移动结构，且卡块（14）内部的开孔（15）尺寸大于卡扣（9）的尺寸，同时卡扣（9）的下端为直角梯形设置。

7.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述传动杆（17）上套接有复位弹簧（16），且复位弹簧（16）设置在卡块（14）与转运装置（5）的内壁之间。