[实用新型]基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗装置，其特征在于：包括机架、毛刷组件及升降调节组件，所述毛刷组件包括与所述机架转动连接的上下设置的一对毛刷及分别与每个毛刷动力连接的驱动装置，所述升降调节组件设置于所述机架上，所述升降调节组件包括固定于机架上的升降驱动、与升降驱动动力连接的传动轴、设于传动轴两端的涡轮及与涡轮啮合的蜗杆以及蜗杆带动的升降部，上方的毛刷和/或下方的毛刷的两端与所述升降部转动连接，所述蜗杆的一端与所述升降部螺纹配合，所述蜗杆转动带动所述升降部上下移动。

2.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：所述蜗杆包括头部及杆部，所述头部与所述涡轮啮合，所述杆部外侧设有螺纹，所述升降部设有与所述杆部啮合的内螺纹孔。

3.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：所述毛刷组件的数量为2个，所述升降调节组件为4个，每个所述升降调节组件对应调节其中一个毛刷的高度。

4.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：机架包括对称设于毛刷组件两端的左机架及右机架，左机架及右机架分别包括底板、安装板及侧板，所述安装板用于转动安装所述蜗杆；所述侧板沿竖直方向设有过孔，所述升降调节组件带动所述毛刷在所述过孔中上下移动。

5.如权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于：所述安装板包括水平设置的上安装板及下安装板，上方的毛刷对应的蜗杆自上而下安装于所述上安装板，下方的毛刷对应的蜗杆自下而上安装于所述下安装板。

6.如权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于：所述机架设有滑槽，所述升降部设有与所述滑槽配合的滑块，所述升降部上下移动时，所述滑块沿所述滑槽移动。

7.如权利要求6所述的基板清洗装置，其特征在于：所述侧板竖直设有两竖直导轨，所述滑槽形成于所述导轨之间，所述导轨与滑块相配合的面均开设有上下贯通的通槽，通槽内设有若干滚轮，所述滚轮沿所述通槽排列设置。

8.如权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于：所述过孔为腰型孔，所述侧板朝向清洗侧设有防水部，所述防水部罩设于所述过孔的外侧，所述毛刷穿过防水部。

9.如权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于：所述升降调节组件还包括设于升降部上的百分表，所述百分表用于检测所述升降部向上或向下移动的距离；升降驱动与毛刷驱动装置分别位于左右机架上。

10.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：所述基板清洗装置还包括控制组件，所述控制组件与所述升降驱动及百分表连接，并根据待清洗基板的厚度及百分表测得的移动距离信号，控制升降驱动开启或停止。