[实用新型]Wafer盘压块翻转压紧机构

权利要求书

1.一种Wafer盘压块翻转压紧机构，特征在于，包括固定架、设置在所述固定架上的拨块与压板，其中，

所述拨块与所述压板通过贯通轴相互连接，在所述贯通轴上套设有扭簧；

所述拨块在外力机构的作用下通过所述贯通轴带动所述压板向上运动，并且，所述压板在所述扭簧的作用下绕所述贯通轴转动；

在所述拨块与所述固定架之间设置有拉簧，所述拨块在所述拉簧的拉力作用下带动所述压板向下运动至Wafer盘放置位置，并压紧所述Wafer盘。

2.如权利要求1所述的Wafer盘压块翻转压紧机构，其特征在于，

在所述固定架上设置有导轨，所述拨块带动所述压板沿所述导轨运动。

3.如权利要求1所述的Wafer盘压块翻转压紧机构，其特征在于，

在所述拨块、所述压板上分别设置有贯通孔，所述贯通轴穿过所述贯通孔将所述拨块、所述压板相互连接。

4.如权利要求1所述的Wafer盘压块翻转压紧机构，其特征在于，

在所述固定架上设置有限位槽，在所述贯通轴的两端分别设置有轴承，所述轴承以及所述贯通轴在所述限位槽内运动；其中，

所述限位槽用于限位所述轴承的运动范围。

5.如权利要求4所述的Wafer盘压块翻转压紧机构，其特征在于，

在所述限位槽的一端设置有圆弧形限位坡，其中，

当所述轴承运动至所述圆弧形限位坡处时，所述压板在所述扭簧的作用下绕所述贯通轴转动。

6.如权利要求1所述的Wafer盘压块翻转压紧机构，其特征在于，

在所述拨块、所述固定架上分别设置有螺栓，其中，

所述拉簧通过所述螺栓固定在所述拨块、所述固定架上。

7.如权利要求1-6任一项所述的Wafer盘压块翻转压紧机构，其特征在于，

所述外力机构为电缸或者气缸。