[实用新型]一种晶圆切割用柔性存料载具

说明书

本实用新型公开了．一种晶圆切割用柔性存料载具，包括装置箱体、卡槽和稳定杆，所述的装置箱体内部安装有第一箱体、第二箱体和第三箱体，箱体通过连接绳连接，减少装置在被搬运时，减少颠簸，装置箱体左右两侧安装有把手，且装置箱体内部固定有稳定杆，稳定杆一侧安装有接头，稳定杆底面安装有卡槽，卡槽和稳定杆相互结合作用于晶盘，以固定晶盘和保护晶盘且装置箱体外部底面固定有楔形结构，楔形结构侧面连接有弹簧，弹簧底面安装有底板，在放下装置时减少颠簸，该晶圆切割用柔性存料载具，在放置晶盘处设有柔性材料的卡槽和稳定杆接头，且底面安装有减震结构，在放置和搬运过程中减少对晶盘的损耗，以起到保护晶盘的作用。

技术领域

本实用新型涉及晶圆储存设备科技技术领域，具体为一种晶圆切割用柔性存料载具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆,大部分晶圆盒结构复杂，且极易造成晶圆损坏。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服背景技术中提到的缺陷，提供一种晶圆切割用柔性存料载具。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割用柔性存料载具，包括装置箱体、卡槽和稳定杆，所述的装置箱体内部左侧安装有第一箱体，第一箱体左侧外部安装有左把手，第一箱体右侧连接有连接绳，连接绳右侧连接有第二箱体，第二箱体右侧安装有第三箱体，第三箱体外部右侧连接有右把手，且装置箱体内部固定有稳定杆，稳定杆一侧安装有接头，稳定杆底面安装有卡槽，且装置箱体外部底面固定有楔形结构，楔形结构侧面连接有弹簧，弹簧底面安装有底板。

优选的，所述第二箱体为三个，通过连接绳与相互连接，且第二箱体与左侧的第一箱体通过连接绳连接，第二箱体通过连接绳与第三箱体连接，连接绳为弹性涤纶绳，且位于箱体之间的连接绳为上下两个。

优选的，所述卡槽为柔性弹力塑胶材料，且卡槽顶部为弧形结构。

优选的，所述稳定杆四个为一组，左右平行对立，稳定杆对立面安装有接头，接头为柔性弹力塑胶材料,接头呈弧形。

优选的，所述楔形结构安装在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面，且楔形结构四个为一组，分别安装在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面四角处，楔形结构通过弹簧与底板连接。

优选的，所述弹簧五个为一组，分别安装在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面四角和中心处，弹簧上端固定在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面，弹簧下端固定在底板顶面，且底板的数量为五个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该一种晶圆切割用柔性存料载具，结构设置合理，底面的圆弧形卡槽和接头为柔性塑胶材料，当放入晶盘后，底面的卡槽包裹住晶盘一部分，同时起到固定作用，稳定杆上的接头可稳定晶盘，设置不同箱体通过连接绳连接，使得在搬运过程减少因运动所造成的损伤，从而保护晶盘。

附图说明

图1为本实用新型结构侧视透视示意图；

图2为本实用新型结构俯视示意图；

图3为本实用新型结构零件示意图；

图4为本实用新型结构零件示意图。

图中标号：1、装置箱体，101、第一箱体，102、第二箱体，103、第三箱体，2、卡槽，3、稳定杆，301、接头，4、左把手，5、底板，6、弹簧，7、楔形结构，8、连接绳，9、右把手。

具体实施方式