[实用新型]一种晶圆切割用柔性存料载具

权利要求书

1.一种晶圆切割用柔性存料载具，包括装置箱体（1）、卡槽（2）和稳定杆（3），其特征在于：所述的装置箱体（1）内部左侧安装有第一箱体（101），第一箱体（101）左侧外部安装有左把手（4），第一箱体（101）右侧连接有连接绳（8），连接绳（8）右侧连接有第二箱体（102），第二箱体（102）右侧安装有第三箱体（103），第三箱体（103）外部右侧连接有右把手（9），且装置箱体（1）内部固定有稳定杆（3），稳定杆（3）一侧安装有接头（301），稳定杆（3）底面安装有卡槽（2），且装置箱体（1）外部底面固定有楔形结构（7），楔形结构（7）侧面连接有弹簧（6），弹簧（6）底面安装有底板（5）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述第二箱体（102）为三个，通过连接绳（8）与相互连接，且第二箱体（102）与左侧的第一箱体（101）通过连接绳（8）连接，第二箱体（102）通过连接绳（8）与第三箱体（103）连接，连接绳（8）为弹性涤纶绳，且位于箱体之间的连接绳（8）为上下两个。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述卡槽（2）为柔性弹力塑胶材料，且卡槽（2）顶部为弧形结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述稳定杆（3）四个为一组，左右平行对立，稳定杆（3）对立面安装有接头（301），接头（301）为柔性弹力塑胶材料；接头（301）呈弧形。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述楔形结构（7）安装在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面，且楔形结构（7）四个为一组，分别安装在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面四角处，楔形结构（7）通过弹簧（6）与底板（5）连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述弹簧（6）五个为一组，分别安装在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面四角和中心处，弹簧（6）上端固定在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面，弹簧（6）下端固定在底板（5）顶面，且底板（5）的数量为五个。