[实用新型]可调式晶圆花篮

权利要求书

1.一种可调式晶圆花篮，其特征在于，包括：第一齿型结构、第二齿型结构、第一连接板和第二连接板，所述第一齿型结构和所述第二齿型结构相对设置，用于放置晶圆，所述第一连接板固定于所述第一齿型结构，所述第二连接板固定于所述第二齿型结构，且所述第一连接板上设有第一定位部，所述第二连接板设有与所述第一定位部能够匹配连接的第二定位部，使得所述第一齿型结构和所述第二齿型结构之间通过所述第一定位部和所述第二定位部间距可调连接。

2.根据权利要求1所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述第一定位部包括多个水平设置的第一螺纹孔，所述第二定位部包括与所述第一螺纹孔匹配的第二螺纹孔，以供螺栓能够依次拧入所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔。

3.根据权利要求1所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述第一连接板和所述第二连接板均包括第一侧板、第二侧板和底板，所述第一侧板和第二侧板分别连接于底板的两端并构成U型结构，所述第一连接板的底板和所述第二连接板的底板分别固定于所述第一齿型结构和所述第二齿型结构的外侧面，所述第一定位部固定于所述第一连接板的第一侧板和第二侧板，所述第二定位部固定于所述第二连接板的第一侧板和第二侧板。

4.根据权利要求3所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述第一连接板的底板设有第三螺纹孔，所述第一齿型结构的外侧面设有第四螺栓孔，以供螺栓能够依次拧入所述第三螺纹孔和所述第四螺栓孔；所述第二连接板的底板设有第五螺纹孔，所述第二齿型结构的外侧面设有第六螺栓孔，以供螺栓能够依次拧入所述第五螺纹孔和所述第六螺栓孔。

5.根据权利要求1所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述第一齿型结构和所述第二齿型结构均包括多个齿槽。

6.根据权利要求5所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述齿槽为聚四氟乙烯齿槽、聚偏氟乙烯齿槽和可熔性聚四氟乙烯齿槽其中的一种。

7.根据权利要求1所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述第一连接板和所述第二连接板为不锈钢连接板或铝合金连接板。