[实用新型]一种旋转式固晶装置

说明书

本实用新型公开一种旋转式固晶装置，包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置与固晶臂通过弹片形成转动副连接。本实用新型的旋转式固晶装置全部与电机刚性连接，速度快，精度高，由转动代替了直线移动，负载变小，无磨损，可长期保持高精度。

技术领域

本实用新型涉及半导体固晶机技术领域，具体涉及一种旋转式固晶装置。

背景技术

固晶装置是固晶机的核心部件，随着固晶速度越来越快，以及对固晶的质量要求也越来越高，所以对固晶设备提出了更高的要求，既要求机器效率最大化，同时也要求机器长期保持精度不变化。一般的固晶装置已经满足不了加工需求，因此，需要更好的能够满足现代加工需求的固晶装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种旋转式固晶装置。

本实用新型的技术方案是：

一种旋转式固晶装置，包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置与固晶臂通过弹片形成转动副连接。

较佳地，所述弹片在驱动装置与固晶臂衔接处形成转动副连接。

较佳地，所述驱动装置包括固晶旋转机构和固晶升降机构，所述弹片安装于固晶旋转机构的底部，用于连接固晶臂与固晶旋转机构，该固晶旋转机构可通过弹片带动固晶臂在水平方向转动；所述固晶升降机构安装于固晶旋转机构的侧壁，用于控制固晶臂上下摆动。

较佳地，所述固晶旋转机构包括旋转电机、旋转电机座、旋转座、轴承和摆动件，所述旋转电机安装于旋转电机座顶部，所述旋转座与旋转电机刚性连接，所述摆动件安装于旋转座底部并通过弹片与旋转座连接，该摆动件的另一端与固晶臂连接，所述轴承安装于摆动件上。

较佳地，所述固晶升降机构包括升降电机、升降电机座、滑块、旋转轴和轴承夹持板，所述升降电机座固定于旋转电机座侧壁，所述升降电机安装于升降电机座上，所述滑块安装于升降电机座上，其对应的升降电机座上设有用于滑块移动的轨道；所述轴承夹持板通过旋转轴与滑块连接，该轴承夹持板用于夹持摆动件上的轴承。

较佳地，所述滑块上安装有偏心轴，该偏心轴与升降电机的转轴连接，用于控制滑块移动。

较佳地，所述升降电机座上还安装有一原点传感器，其位于滑块的上方。

采用本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：

1、固晶臂上吸嘴上下运动的主运动采用转动副代替传统的交叉滚子导轨或直线导轨的移动副，实现去导轨化设计，具有无磨损，寿命长的特点，保证了结构精度的长期稳定性，从而保证了吸嘴位置精度的长期稳定，实现效率更高，精度更好；

2、水平摆动与垂直摆动运动相互独立，控制更灵活，运动精度更高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型固晶旋转机构的结构示意图；

图3为本实用新型局部结构示意图；

图4为本实用新型固晶升降机构的结构示意图；

图5为本实用新型运动原理图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进一步说明。下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。