[实用新型]一种旋转式固晶装置有效
| 申请号： | 202021834554.9 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN212303617U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 唐文轩;曾智军;王平 | 申请（专利权）人： | 深圳市微恒自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 式固晶 装置 | ||
1.一种旋转式固晶装置，其特征在于：包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置通过弹片形成的转动副与固晶臂连接。
2.根据权利要求1所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述弹片在驱动装置与固晶臂衔接处形成转动副连接。
3.根据权利要求1所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述驱动装置包括固晶旋转机构和固晶升降机构，所述弹片安装于固晶旋转机构的底部，用于连接固晶臂与固晶旋转机构，该固晶旋转机构可通过弹片带动固晶臂在水平方向转动；所述固晶升降机构安装于固晶旋转机构的侧壁，用于控制固晶臂上下摆动。
4.根据权利要求3所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述固晶旋转机构包括旋转电机、旋转电机座、旋转座、轴承和摆动件，所述旋转电机安装于旋转电机座顶部，所述旋转座与旋转电机刚性连接，所述摆动件安装于旋转座底部并通过弹片与旋转座连接，该摆动件的另一端与固晶臂连接，所述轴承安装于摆动件上。
5.根据权利要求4所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述固晶升降机构包括升降电机、升降电机座、滑块、旋转轴和轴承夹持板，所述升降电机座固定于旋转电机座侧壁，所述升降电机安装于升降电机座上，所述滑块安装于升降电机座上，其对应的升降电机座上设有用于滑块移动的轨道；所述轴承夹持板通过旋转轴与滑块连接，该轴承夹持板用于夹持摆动件上的轴承。
6.根据权利要求5所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述滑块上安装有偏心轴，该偏心轴与升降电机的转轴连接，用于控制滑块移动。
7.根据权利要求5所述的旋转式固晶装置，其特征在于：所述升降电机座上还安装有一原点传感器，其位于滑块的上方。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
