[实用新型]光刻对准标记

权利要求书

1.一种光刻对准标记，其特征在于，包括：

位于衬底上的前层结构，所述前层结构中形成有沿第一方向相互平行且间隔排列的第一对准标记；

位于所述前层结构上的覆盖结构，所述覆盖结构中形成有多个沿第二方向相互平行的条形开口，其中，所述第一方向与所述第二方向不同，所述条形开口的延伸方向与所述第一对准标记的延伸方向呈夹角，且所述条形开口与所述第一对准标记部分重叠，以使得所述条形开口与所述第一对准标记的重叠部分作为光刻对准标记。

2.根据权利要求1所述的光刻对准标记，其特征在于，所述条形开口的延伸方向与所述第一对准标记的延伸方向呈夹角，包括：所述条形开口的延伸方向与所述第一对准标记的延伸方向垂直。

3.根据权利要求2所述的光刻对准标记，其特征在于，所述多个沿第二方向相互平行的条形开口，包括：在所述第一对准标记的延伸方向上开口宽度相同的多个相互平行的条形开口。

4.根据权利要求2所述的光刻对准标记，其特征在于，所述多个沿第二方向相互平行的条形开口，包括：在所述第一对准标记的延伸方向上开口宽度不相同的多个相互平行的条形开口。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的光刻对准标记，其特征在于，所述覆盖结构包括高反射层。

6.根据权利要求5所述的光刻对准标记，其特征在于，所述高反射层包括多晶硅层或高反射率金属层。