[实用新型]一种光学装置及检测设备

说明书

本实用新型公开一种光学装置及检测设备，其中，该光学装置包括光源发生部件和光路处理部件；还包括具有射入口和射出口的封闭壳体，所述光源发生部件设置于所述封闭壳体的外部，所述光路处理部件安装在所述封闭壳体内，所述光源发生部件发出的光束经所述射入口射入所述封闭壳体、经过所述光路处理部件整形处理后形成至少一束检测光束从所述射出口射出。由于光路处理部件设置在封闭壳体的内部，能够降低检测光束外漏的可能性，进而可以较大程度地避免检测光束对于周围人员或者设备的伤害。

技术领域

本实用新型涉及零件检测技术领域，具体涉及一种光学装置及检测设备。

背景技术

半导体检测设备所使用的光学装置主要用于为检测提供检测光束，但由于检测光束能量较高，一旦外漏，就可能对周围的人员或者设备造成伤害。

因此，如何提供一种方案，以克服上述缺陷，仍是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光学装置及检测设备，其中，该光学装置的检测光束的外漏可能性较小，可以较大程度地避免检测光束对于周围人员或者设备的伤害。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光学装置，包括光源发生部件和光路处理部件；还包括具有射入口和射出口的封闭壳体，所述光源发生部件设置于所述封闭壳体的外部，所述光路处理部件安装在所述封闭壳体内，所述光源发生部件发出的光束经所述射入口射入所述封闭壳体、经过所述光路处理部件整形处理后形成至少一束的检测光束从所述射出口射出。

如此设置，由于光路处理部件设置在封闭壳体的内部，能够降低检测光束外漏的可能性，进而可以较大程度地避免检测光束对于周围人员或者设备的伤害。

可选地，还包括供气部件和吹气部件，所述吹气部件与所述供气部件相连通，所述吹气部件至少用于向所述光路处理部件吹气，以去除所述光路处理部件表面及附近的杂质。

可选地，所述吹气部件包括形成于所述封闭壳体的壳壁的吹气通道和与所述吹气通道相连通的吹气孔。

可选地，所述封闭壳体包括箱体部和盖体部，所述盖体部安装于所述箱体部的开口，以围合形成所述光路处理部件的安装腔，所述吹气部件形成于所述盖体部；和/或，所述吹气通道通过钻孔形成。

可选地，所述光路处理部件的数量为多个，各所述光路处理部件在所述封闭壳体内顺次排列，所述吹气通道的延伸方向与各所述光路处理部件的排列方向相对应。

可选地，所述吹气通道包括若干分通道，各所述分通道均设置有所述吹气孔，所述吹气孔的位置与所述光路处理部件在所述封闭壳体内的位置相对应。

可选地，各所述分通道中，至少一条为主道，所述主道具有进气口，用于和所述供气部件相连，与所述主道连通的所述分通道为支道，所述支道的一端与所述主道相连通，另一端形成需要封堵的封堵口。

可选地，还包括抽气部件，所述封闭壳体设置有抽气口，所述抽气部件与所述抽气口相连，所述抽气部件用于对所述封闭壳体内的气体进行抽气。

可选地，所述射出口的数量为多个，所述光路处理部件的数量为多个，所述光路处理部件用于对所述光源发生部件发出的光束进行整形处理形成至少一束所述检测光束，各所述射出口用于分别射出所述检测光束。

本实用新型还提供一种检测设备，包括光学装置和检测台，所述光学装置为上述的光学装置。

由于上述的光学装置已经具备如上的技术效果，那么，具有该光学装置的检测设备亦当具备相类似的技术效果，故在此不作赘述。

附图说明

图1为本实用新型所提供光学装置的一种具体实施方式的结构示意图；

图2为盖体部的剖面图；

图3为箱体部的内部结构图。