[实用新型]一种光学装置及检测设备

权利要求书

1.一种光学装置，包括光源发生部件和光路处理部件(2)，其特征在于，还包括具有射入口和射出口的封闭壳体(3)，所述光源发生部件设置于所述封闭壳体(3)的外部，所述光路处理部件(2)安装在所述封闭壳体(3)内，所述光源发生部件发出的光束经所述射入口射入所述封闭壳体(3)、经过所述光路处理部件(2)整形处理后形成的至少一束检测光束从所述射出口射出。

2.根据权利要求1所述光学装置，其特征在于，还包括供气部件和吹气部件(33)，所述吹气部件(33)与所述供气部件相连通，所述吹气部件(33)至少用于向所述光路处理部件(2)吹气，以去除所述光路处理部件(2)表面及附近的杂质。

3.根据权利要求2所述光学装置，其特征在于，所述吹气部件(33)包括形成于所述封闭壳体(3)的壳壁的吹气通道(331)和与所述吹气通道(331)相连通的吹气孔(331a)。

4.根据权利要求3所述光学装置，其特征在于，所述封闭壳体(3)包括箱体部(31)和盖体部(32)，所述盖体部(32)安装于所述箱体部(31)的开口，以围合形成所述光路处理部件(2)的安装腔，所述吹气部件(33)形成于所述盖体部(32)；和/或，

所述吹气通道(331)通过钻孔形成。

5.根据权利要求3所述光学装置，其特征在于，所述光路处理部件(2)的数量为多个，各所述光路处理部件(2)在所述封闭壳体(3)内顺次排列，所述吹气通道(331)的延伸方向与各所述光路处理部件(2)的排列方向相对应。

6.根据权利要求3所述光学装置，其特征在于，所述吹气通道(331)包括若干分通道，各所述分通道均设置有所述吹气孔(331a)，所述吹气孔(331a)的位置与所述光路处理部件(2)在所述封闭壳体(3)内的位置相对应。

7.根据权利要求6所述光学装置，其特征在于，各所述分通道中，至少一条为主道，所述主道具有进气口(331b)，用于和所述供气部件相连，与所述主道连通的所述分通道为支道，所述支道的一端与所述主道相连通，另一端形成需要封堵的封堵口(331c)，所述封堵口(331c)通过堵头封堵。

8.根据权利要求2-7中任一项所述光学装置，其特征在于，还包括抽气部件，所述封闭壳体(3)设置有抽气口(311)，所述抽气部件与所述抽气口(311)相连，所述抽气部件用于对所述封闭壳体(3)内的气体进行抽气。

9.根据权利要求1-7中任一项所述光学装置，其特征在于，所述射出口的数量为多个，所述光路处理部件(2)用于对所述光源发生部件(1)发出的光束进行整形处理形成至少一束所述检测光束，各所述射出口用于分别射出所述检测光束。

10.一种检测设备，包括光学装置和检测台，其特征在于，所述光学装置为权利要求1-9中任一项所述光学装置。