[实用新型]一种线位移标准装置的运动平台结构

说明书

本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。本实用新型公开的一种线位移标准装置的运动平台结构能够实现检测高精度位移传感器的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种线位移标准装置的运动平台结构。

背景技术

位移传感器又称线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为模拟量或数字量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。

在一些精度要求高的领域，位移传感器使用前需要对其进行精度检测和校准，目前尚无专业的精度检测设备，因而需要进行改进

实用新型内容

鉴于目前检测装置存在的上述不足，本实用新型提供一种线位移标准装置的运动平台结构，能够实现检测高精度位移传感器且减小测量误差。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。

依照本实用新型的一个方面，所述测量平台上设置有镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架，所述干涉镜组与第一平面反射镜安装在镜组支架上，所述第二平面反射镜以及待测位移传感器安装在待测位移传感器支架上，所述被测目标物设置在被测目标物支架上。通过镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架便于各类设备安装，且能高效的保障各个部件之间位置的直线性。

依照本实用新型的一个方面，所述待测位移传感器支架包括安装块、设置在安装块两侧的滑动槽、卡设在滑动槽内的U形环、设置在安装块中部的安装槽，设置在U形环顶部的螺纹孔和与螺纹孔螺纹连接的螺杆，所述待测位移传感器通过螺杆和U形环卡设在安装槽内。通过卡接在滑动槽内的U形环和通过螺纹连接U形环的螺杆对待测位移传感器进行固定，通过不断旋动螺杆，使得螺杆下压，压住待测位移传感器进行固定。

依照本实用新型的一个方面，所述测量平台上设置有固定孔，所述镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架通过固定孔设置在测量平台上。通过固定孔能够便于镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架安装，也能便于镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架保持其所要求的直线性。

依照本实用新型的一个方面，所述待测位移传感器为光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器。光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器这些类型的位移传感器均为高精度的传感器。

依照本实用新型的一个方面，所述安装块两侧的滑动槽均设置有两个以上、且两侧的滑动槽呈对称分布。通过改变U形环卡接的滑动槽，可以提高U形环顶部距离安装槽底部的距离，进而使得待测位移传感器支架能够安装更多类型的传感器。