[实用新型]一种线位移标准装置的运动平台结构

权利要求书

1.一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物均安装在测量平台上，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。

2.根据权利要求1所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述测量平台上设置有镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架，所述干涉镜组与第一平面反射镜安装在镜组支架上，所述第二平面反射镜以及待测位移传感器安装在待测位移传感器支架上，所述被测目标物设置在被测目标物支架上。

3.根据权利要求2所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述待测位移传感器支架包括安装块、设置在安装块两侧的滑动槽、卡设在滑动槽内的U形环、设置在安装块中部的安装槽，设置在U形环顶部的螺纹孔和与螺纹孔螺纹连接的螺杆，所述待测位移传感器通过螺杆和U形环卡设在安装槽内。

4.根据权利要求2所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述测量平台上设置有固定孔，所述镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架通过固定孔设置在测量平台上。

5.根据权利要求1所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述待测位移传感器为光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器。

6.根据权利要求3所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述安装块两侧的滑动槽均设置有两个以上、且两侧的滑动槽呈对称分布。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述待测位移传感器为激光位移传感器，所述被测目标物为反射镜片。

8.根据权利要求7所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述被测目标物支架与待测位移传感器支架结构相同。

9.根据权利要求7所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述测量平台的底部设置有减震脚。

10.根据权利要求3所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述安装槽为V形槽。