[实用新型]一种电介质刻蚀机气体分配器结构有效
| 申请号： | 202021738329.5 | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN212542349U | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 陆桥宏;任斌;张伏贵;任志强;王小艳 | 申请（专利权）人： | 无锡展硕科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电介质 刻蚀 气体 分配器 结构 | ||
1.一种电介质刻蚀机气体分配器结构，包括分配板（1），其特征在于：所述分配板（1）的顶部开设有分配腔（2），所述分配腔（2）的底壁均匀开设有第一分配孔（3），所述第一分配孔（3）的底部轴心处开设有第二分配孔（4），所述第一分配孔（3）的底部周向开设有第三分配孔（5）；
所述分配腔（2）的内侧壁还包括开设的第一放置槽板（6）和第二放置槽板（7），且所述第一放置槽板（6）位于所述第二放置槽板（7）的下方，所述第一放置槽板（6）处叠置有加热板（8），且所述加热板（8）上开设有涡状线槽（9），所述第二放置槽板（7）处叠置有盖板（10），所述盖板（10）上开设有五组进气孔（11）。
2.根据权利要求1所述的一种电介质刻蚀机气体分配器结构，其特征在于：所述第一分配孔（3）的孔径为5mm，所述第二分配孔（4）的孔径为1mm，所述第三分配孔（5）的孔径为0.5mm，且所述第三分配孔（5）开设的孔道与所述第一分配孔（3）的轴线处之间的夹角为45-60度。
3.根据权利要求1所述的一种电介质刻蚀机气体分配器结构，其特征在于：所述加热板（8）和所述分配腔（2）的底部之间的距离、所述加热板（8）和所述盖板（10）之间的距离相一致。
4.根据权利要求1所述的一种电介质刻蚀机气体分配器结构，其特征在于：一组所述进气孔（11）位于所述第一分配孔（3）的轴线处，另四组所述进气孔（11）分布于所述第一分配孔（3）的周向处。
5.根据权利要求1所述的一种电介质刻蚀机气体分配器结构，其特征在于：所述第一分配孔（3）分别与所述分配腔（2）的底壁之间、与所述第二分配孔（4）之间、与所述第三分配孔（5）之间均为圆角过渡连接，所述第二分配孔（4）、所述第三分配孔（5）分别与所述分配板（1）的底壁之间为圆角过渡连接。
6.根据权利要求1所述的一种电介质刻蚀机气体分配器结构，其特征在于：所述分配板（1）分别与所述加热板（8）、所述盖板（10）之间通过密封焊接设置。
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