[实用新型]应用于单晶炉的二次加料装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉的二次加料装置，涉及单晶炉设备技术领域，主要目的是同时兼顾加料装置的使用寿命和单晶棒的产品品质。本实用新型的主要技术方案为：应用于单晶炉的二次加料装置，包括：料筒和提拉部；所述料筒包括不锈钢外筒和碳化硅内筒，所述不锈钢外筒套接于所述碳化硅内筒轴侧，所述碳化硅内筒的上端法兰和不锈钢外筒的上端法兰之间夹持有垫环，所述不锈钢外筒的轴侧固定连接于限位盘，所述限位盘顶接于喉口；所述提拉部包括传动连杆、石英锥和支撑盘，所述传动连杆上下移动于所述碳化硅内筒中，所述传动连杆的下端连接于所述支撑盘，所述石英锥套接于所述传动连杆的下端侧，所述石英锥下端的直径大于所述碳化硅内筒的内径。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种应用于单晶炉的二次加料装置。

背景技术

二次加料技术是目前单晶制备中增加投料量的关键技术，行业中普遍采用。二次加料技术的核心为二次加料装置，目前行业中常用的二次加料装置根据材质可分为不锈钢二次加料装置和石英二次加料装置。不锈钢加料装置寿命长，使用方便，但易引起原料污染，影响产品质量。石英加料装置可有效避免原料污染问题，但易碎，使用寿命短，引起事故。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种应用于单晶炉的二次加料装置，主要目的是同时兼顾加料装置的使用寿命和单晶棒的产品品质。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种应用于单晶炉的二次加料装置，该装置包括：料筒和提拉部；

所述料筒包括不锈钢外筒和碳化硅内筒，所述不锈钢外筒套接于所述碳化硅内筒轴侧，所述碳化硅内筒的上端法兰和不锈钢外筒的上端法兰之间夹持有垫环，所述不锈钢外筒的轴侧固定连接于限位盘，所述限位盘顶接于喉口；

所述提拉部包括传动连杆、石英锥和支撑盘，所述传动连杆上下移动于所述碳化硅内筒中，所述传动连杆的下端连接于所述支撑盘，所述石英锥套接于所述传动连杆的下端侧，所述石英锥下端的直径大于所述碳化硅内筒的内径。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，所述提拉部还包括石英管，所述石英管套接于所述传动连杆的轴侧。

可选的，所述支撑盘的中心设有螺纹孔，所述传动连杆的下端螺纹连接于所述螺纹孔。

可选的，所述传动连杆的材质为高纯钼。

可选的，所述石英管包括三段分段石英管，三段所述分段石英管依次排列于所述传动连杆的轴侧。

可选的，所述支撑盘的材质为碳碳复合材料。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：

需要进行单晶炉加料作业时，单晶炉上炉体中的提升装置通过提升传动连杆，带动支撑盘上升，进而带动石英锥上升，石英锥下端的边缘抵触至碳化硅内筒的下端，使碳化硅内筒下端口密闭。操作人员按照配方向碳化硅内筒中加入硅原料，提升装置继续提升传动连杆，带动本装置进入进入单晶炉副室内部，待单晶炉副室完成净化程序后，提升装置带动本装置逐渐下降，直至限位盘顶接于单晶炉喉口。这时，不锈钢外筒和碳化硅内筒的组合体稳定在喉口，不锈钢外筒和限位盘承载着碳化硅内筒的重量。而且碳化硅内筒和不锈钢外筒之间还夹持有垫环，垫环起到缓冲作用，避免碳化硅内筒和不锈钢外筒直接接触，避免碳化硅内筒损坏。