[实用新型]应用于单晶炉的二次加料装置

权利要求书

1.一种应用于单晶炉的二次加料装置，其特征在于，包括：

料筒，所述料筒包括不锈钢外筒和碳化硅内筒，所述不锈钢外筒套接于所述碳化硅内筒轴侧，所述碳化硅内筒的上端法兰和不锈钢外筒的上端法兰之间夹持有垫环，所述不锈钢外筒的轴侧固定连接于限位盘，所述限位盘顶接于喉口；

提拉部，所述提拉部包括传动连杆、石英锥和支撑盘，所述传动连杆上下移动于所述碳化硅内筒中，所述传动连杆的下端连接于所述支撑盘，所述石英锥套接于所述传动连杆的下端侧，所述石英锥下端的直径大于所述碳化硅内筒的内径。

2.根据权利要求1所述的应用于单晶炉的二次加料装置，其特征在于，

所述提拉部还包括石英管，所述石英管套接于所述传动连杆的轴侧。

3.根据权利要求1所述的应用于单晶炉的二次加料装置，其特征在于，

所述支撑盘的中心设有螺纹孔，所述传动连杆的下端螺纹连接于所述螺纹孔。

4.根据权利要求1所述的应用于单晶炉的二次加料装置，其特征在于，

所述传动连杆的材质为高纯钼。

5.根据权利要求2所述的应用于单晶炉的二次加料装置，其特征在于，

所述石英管包括三段分段石英管，三段所述分段石英管依次排列于所述传动连杆的轴侧。

6.根据权利要求1所述的应用于单晶炉的二次加料装置，其特征在于，

所述支撑盘的材质为碳碳复合材料。