[实用新型]一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器

说明书

本实用新型提供一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其包括下层板，所述下层板上竖直设置有矩形柱，所述矩形柱沿所述下层板边框均匀分布，形成环形壁，所述下层板上且位于环形壁内侧竖向设置有多个调谐柱，所述环形壁上方设置有上层板；本实用新型的滤波器结构为双层结构，采用间隙波导技术，两层结构之间不需要严格的电接触，降低了对于加工组装的精度要求；其中传输介质为空气，具有传输损耗低的优点；可以通过调节调谐柱之间的距离和调谐柱的结构来调整级联谐振腔之间的耦合系数。

技术领域

本实用新型涉及太赫兹滤波器技术领域，特别是，涉及一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器。

背景技术

目前，传统带通滤波器一般通过矩形金属波导的形式实现，但是矩形波导两层结构之间需要严格的电接触来抑制电磁波的泄露，对于加工组装的精度有着更高的要求，使得加工制作的成本较高；

间隙波导与传统金属波导相比，两层结构之间不需要严格的电接触来抑制电磁波的泄露，在一定程度上降低了对于加工组装的精度要求，但是间隙波导一般仍然采用传统金属机械加工工艺进行加工，导致整体结构重量大，不易于集成。另一方面，随着频率的升高，滤波器对应的物理尺寸将逐渐缩小，尤其当频率上升到太赫兹频段时，对于加工精度的要求将极为严格，而高精度的金属加工工艺十分昂贵。

实用新型内容

本部分的目的在于概述本实用新型的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中太赫兹频段传统滤波器重量大、加工成本高和不易于集成的缺陷，从而提供一种一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其包括下层板，所述下层板上竖直设置有矩形柱，所述矩形柱沿所述下层板边框均匀分布，形成环形壁，所述下层板上且位于环形壁内侧竖向设置有多个调谐柱，所述环形壁上方设置有上层板。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述环形壁包括沿所述下层板边框设置的外环形壁，所述外环形壁向所述下层板内侧平行设置有内环形壁，所述环形壁内侧形成电磁波传输路径。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述矩形柱高度为0.6mm，长度和宽度为0.2mm，相邻两个所述矩形柱之间设置有第一间隙，所述第一间隙为0.2mm。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述矩形柱与所述上层板之间设置有第二间隙，所述第二间隙高度小于四分之一波长。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述下层板与上层板采用螺丝连接。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述调谐柱沿所述电磁波传输路径设置有多组，所述调谐柱包括两个调谐柱单元，所述调谐柱单元之间设置有第三间隙。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述上层板与所述下层板采用硅材料，所述下层板进行蚀刻处理，所述上层板进行镀金处理。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述上层板、下层板以及环形壁之间形成空腔M，所述空腔M内传输介质为空气。

作为本实用新型所述一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器的一种优选方案，其中：所述下层板上设置有输入端口和输出端口。