[实用新型]一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器

权利要求书

1.一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：包括，

下层板(101)，所述下层板(101)上竖直设置有矩形柱(102)，所述矩形柱(102)沿所述下层板(101)边框均匀分布，形成环形壁(103)，所述下层板(101)上且位于环形壁(103)内侧竖向设置有多个调谐柱(104)，所述矩形柱(102)上方设置有上层板(201)。

2.如权利要求1所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述环形壁(103)包括外环形壁(103a)以及向内侧平行设置的内环形壁(103b)，所述环形壁(103)内侧形成电磁波传输路径(105)。

3.如权利要求2所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述矩形柱(102)高度为0.6mm，长度和宽度为0.2mm，相邻两个所述矩形柱(102)之间设置有第一间隙(102a)，所述第一间隙(102a)为0.2mm。

4.如权利要求3所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述矩形柱(102)与所述上层板(201)之间设置有第二间隙(201a)，所述第二间隙(201a)高度小于四分之一波长。

5.如权利要求4所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述下层板(101)与上层板(201)采用螺丝连接。

6.如权利要求5所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述调谐柱(104)沿所述电磁波传输路径(105)设置有多组，所述调谐柱(104)包括两个调谐柱单元(104a)，所述调谐柱单元(104a)之间设置有第三间隙(104b)。

7.如权利要求6所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述上层板(201)与所述下层板(101)采用硅材料，所述下层板(101)进行蚀刻处理，所述上层板(201)进行镀金处理。

8.如权利要求7所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述上层板(201)、下层板(101)以及环形壁(103)之间形成空腔(M)，所述空腔(M)内传输介质为空气。

9.如权利要求8所述的一种基于MEMS工艺的间隙波导滤波器，其特征在于：所述下层板(101)上设置有输入端口(101a)和输出端口(101b)。