[实用新型]一种新型的特气喷淋管道

说明书

一种新型的特气喷淋管道，属于板式PECVD设备技术领域。包括设置在PECVD设备石墨框上方的喷气管，喷气管与第一气管、第二气管连通，第一气管、第二气管通过三通接头与总气管连通，喷气管上设置一组喷淋孔，其特征在于喷气管两侧各增设至少一个左侧喷淋孔、至少一个右侧喷淋孔，左侧喷淋孔、右侧喷淋孔分别对应PECVD设备的石墨框两侧喷气。上述一种新型的特气喷淋管道，不仅能使硅片镀膜均匀，而且便于清洗，延长了特气喷淋管道的使用寿命。

技术领域

本实用新型属于板式PECVD设备技术领域，具体为一种新型的特气喷淋管道。

背景技术

太阳能具有无污染、能源充足的特性，能有效的解决目前能源短缺以及污染严重的问题，是一种发展潜力极大的新能源技术。目前太阳能电池主要使用板式PECVD设备镀膜，因为特气喷淋管道喷气不均匀，两端存在死角，导致石墨框两侧硅片镀膜比较薄，从而使硅片镀膜后边缘发蓝；而且现有的特气喷淋管道一旦进入杂质或者堵塞无法清洗，只能更换管道，增加了生产成本。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于设计提供一种新型的特气喷淋管道的技术方案，该管道不仅能使硅片镀膜均匀，而且便于清洗，延长了特气喷淋管道的使用寿命。

所述的一种新型的特气喷淋管道，包括设置在PECVD设备石墨框上方的喷气管，喷气管与第一气管、第二气管连通，第一气管、第二气管通过三通接头与总气管连通，喷气管上设置一组喷淋孔，其特征在于喷气管两侧各增设至少一个左侧喷淋孔、至少一个右侧喷淋孔，左侧喷淋孔、右侧喷淋孔分别对应PECVD设备的石墨框两侧喷气。

所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于左侧喷淋孔、右侧喷淋孔为圆孔，左侧喷淋孔、右侧喷淋孔的喷气量为20-25sccm。

所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于喷气管左侧设置两个左侧喷淋孔，右侧设置两个右侧喷淋孔，两个左侧喷淋孔间隔55-65mm设置，两个右侧喷淋孔间隔55-65mm设置。

所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于喷气管上均布设置一组喷淋孔，相邻喷淋孔的间距相等；喷淋孔为圆孔，喷淋孔的喷气量为20-25sccm。

所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于喷气管为通管，喷气管左端口设置左螺孔及与其螺接密封的左螺杆，喷气管右端口设置右螺孔及与其螺接密封的右螺杆。

上述一种新型的特气喷淋管道，为解决硅片镀膜不均匀而导致的边缘发蓝现象，在现有的特气喷淋管道喷淋孔两侧各增加至少一个喷淋孔，使两端的特气流量增大，从而使石墨框两侧的膜厚度增加，镀膜更加均匀；在特气喷淋管道两端各增加一个螺孔，正常使用时拧上螺杆，当需要清洗特气喷淋管道时，将两端的螺杆拧出，使用纯氮气清洗特气管道，清洗方便，延长了特气喷淋管道的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1-左螺杆、2-左螺孔、3-左侧喷淋孔、4-喷气管、5-第一气管、6-三通接头、7-喷淋孔、8-第二气管、9-总气管、10-右侧喷淋孔、11-右螺孔、12-右螺杆。

具体实施方式

以下结合说明书附图对本实用新型作进一步说明。

如图所示，该一种新型的特气喷淋管道，包括设置在PECVD设备石墨框上方的喷气管4，喷气管4与第一气管5、第二气管8连通，第一气管5、第二气管8通过三通接头6与总气管9连通，喷气管4上设置一组喷淋孔7，喷气管4两侧各增设至少一个左侧喷淋孔3、至少一个右侧喷淋孔10，左侧喷淋孔3、右侧喷淋孔10分别对应PECVD设备的石墨框两侧喷气。左侧喷淋孔3、右侧喷淋孔10的设置可以增加了该位置的气流量，从而在镀膜时，没有喷气死角，该位置的膜厚度增加，杜绝了现有管道镀膜时硅片边缘膜厚度低而导致的硅片边缘发蓝现象。