[实用新型]一种新型的特气喷淋管道

权利要求书

1.一种新型的特气喷淋管道，包括设置在PECVD设备石墨框上方的喷气管（4），喷气管（4）与第一气管（5）、第二气管（8）连通，第一气管（5）、第二气管（8）通过三通接头（6）与总气管（9）连通，喷气管（4）上设置一组喷淋孔（7），其特征在于喷气管（4）两侧各增设至少一个左侧喷淋孔（3）、至少一个右侧喷淋孔（10），左侧喷淋孔（3）、右侧喷淋孔（10）分别对应PECVD设备的石墨框两侧喷气。

2.如权利要求1所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于左侧喷淋孔（3）、右侧喷淋孔（10）为圆孔，左侧喷淋孔（3）、右侧喷淋孔（10）的单孔喷气量为20-25sccm。

3.如权利要求1所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于喷气管（4）左侧设置两个左侧喷淋孔（3），右侧设置两个右侧喷淋孔（10），两个左侧喷淋孔（3）间隔55-65mm设置，两个右侧喷淋孔（10）间隔55-65mm设置。

4.如权利要求1所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于喷气管（4）上均布设置一组喷淋孔（7），相邻喷淋孔（7）的间距相等；喷淋孔（7）为圆孔，喷淋孔（7）的喷气量为20-25sccm。

5.如权利要求1所述的一种新型的特气喷淋管道，其特征在于喷气管（4）为通管，喷气管（4）左端口设置左螺孔（2）及与其螺接密封的左螺杆（1），喷气管（4）右端口设置右螺孔（11）及与其螺接密封的右螺杆（12）。