[实用新型]类单晶生长炉有效
| 申请号： | 202021648587.4 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN213327934U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王全志 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 么立双 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 类单晶 生长 | ||
1.一种类单晶生长炉，其特征在于，包括：
坩埚，所述坩埚具有收容物料的腔室；
盖板，所述盖板盖设于所述坩埚；
挡气板，所述挡气板设于所述坩埚内，所述物料位于所述挡气板和所述坩埚底壁之间，所述挡气板的边缘具有导向部，所述导向部适于将气体引导至所述导向部的上方。
2.根据权利要求1所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述挡气板的边缘朝向所述盖板的方向翻折以构造出所述导向部。
3.根据权利要求1所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述导向部的厚度为5-15mm。
4.根据权利要求1所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述导向部在上下方向上的垂直高度为30mm。
5.根据权利要求1所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述挡气板包括主体部，所述主体部与所述坩埚底壁平行，所述导向部与所述主体部的边缘连接，所述导向部绕设于所述主体部的外周，所述导向部呈环形。
6.根据权利要求5所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述主体部在水平方向上的最大宽度为1200-1300mm。
7.根据权利要求5所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述主体部呈多边形或圆形。
8.根据权利要求1所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述挡气板为氮化硅板。
9.根据权利要求1所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述坩埚周壁的壁面和所述坩埚底壁的外壁面均设有石墨护板。
10.根据权利要求1所述的类单晶生长炉，其特征在于，所述盖板为石墨盖板。
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