[实用新型]芯片单面刷洗机

说明书

本实用新型涉及芯片刷洗机领域，特别涉及芯片单面刷洗机。清洗模组设置在机架的中部。物料模组设置在清洗模组上方。物料模组上设置有用于芯片对中的对中装置，对中装置包括第一对中部和第二对中部；第一对中部上设置有圆弧形的第一对中面；第二对中部上设置有圆弧形的第二对中面。第一对中面和第二对中面的底部在同一平面上，关于对中装置的轴线对称。本实用新型通过设置对中装置，并通过圆弧形的第一对中面和圆弧形的第二对中面将芯片进行对中，使芯片放置到清洗模组内时，与清洗模组的轴心有很高的同心度，提高了刷洗芯片的质量；且防止高速旋干时飞片的情况发生，提高了工作的安全性，同时也提高了刷洗芯片的效率。

技术领域

本实用新型涉及芯片刷洗机领域，特别涉及芯片单面刷洗机。

背景技术

传统上，晶圆在经过蚀刻或掺杂植入制程后，会进行清洗制程。其中清洗制程是在包括有数个提供不同化学物质溶液、氨水/过氧化氢混合溶液的槽体的湿式清洗台设备中进行。目前，在晶圆片的刷洗工序中，大部分采用刷洗设备清洗，在清洗时，芯片容易飞出，出现飞片的现象。

因此，需要提供一种芯片单面刷洗机来解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种芯片单面刷洗机，通过圆弧形的第一对中面和圆弧形的第二对中面将芯片进行对中，使芯片放置到清洗模组内时，与清洗模组的轴心有很高的同心度，防止高速旋干时飞片的情况发生，提高了工作的安全性，同时也提高了刷洗芯片的效率，解决了刷洗机刷洗芯片易飞片的的问题。

一种芯片单面刷洗机，包括：

机架；

机械手模组，用于上料和下料，设置在所述机架的一侧；

清洗模组，设置在所述机架的中部，用于清洗所述芯片。

物料模组，设置在所述清洗模组上方，用于存放所述芯片，包括通过支撑杆设置在所述清洗模组正上方的固定板、和固定在所述固定板上的晶周盒；

其中，所述物料模组上设置有用于所述芯片对中的对中装置，所述对中装置设置在所述固定板的一端，所述对中装置包括第一对中部和第二对中部；所述第一对中部上设置有圆弧形的第一对中面；所述第二对中部上设置有圆弧形的第二对中面；

所述第一对中面和第二对中面的底部在同一平面上，且关于对中装置的轴线对称。

在本实用新型所述的芯片单面刷洗机中，所述第一对中部上还设置有圆弧形的第三对中面、和第五对中面；所述第二对中部上还设置有圆弧形的第四对中面、和第六对中面；

所述第一对中面、第三对中面、和第五对中面呈阶梯式排列在所述第一对中部的一端；所述第二对中面、第四对中面、和第六对中面呈阶梯式排列在所述第二对中部的一端；

第一对中部和第二对中部关于所述对中装置的轴线对称，且所述第一对中面与第二对中面的底端位于所述同一平面；所述第三对中面与第四对中面的底端位于所述同一平面；所述第五对中面与第六对中面的底端位于所述同一平面。

在本实用新型所述的芯片单面刷洗机中，所述清洗模组有多个且并列设置在所述机架的中部，所述晶周盒对应设置在所述清洗模组的上方。

在本实用新型所述的芯片单面刷洗机中，所述清洗模组包括用以固定芯片的芯片固定装置、用于冲洗所述芯片的纯净水喷头、和用于去除所述芯片的污垢的兆声单元；

所述纯净水喷头设置在所述芯片固定装置周侧，所述兆声单元设置在所述芯片固定装置周侧；

每个所述芯片固定装置的周侧均固定有所述纯净水喷头；

每两个所述芯片固定装置中间设置有所述兆声单元。