[实用新型]芯片单面刷洗机有效

专利信息
申请号: 202021646880.7 申请日: 2020-08-10
公开(公告)号: CN213079261U 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 薛小宾;李伟 申请(专利权)人: 深圳市赛平精密技术有限公司
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B3/02;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 代理人: 李捷
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 芯片 单面 刷洗
【权利要求书】:

1.一种芯片单面刷洗机,其特征在于,包括:

机架;

机械手模组,用于上料和下料,设置在所述机架的一侧;

清洗模组,设置在所述机架的中部,用于清洗所述芯片;

物料模组,设置在所述清洗模组上方,用于存放所述芯片,包括通过支撑杆设置在所述清洗模组正上方的固定板、和固定在所述固定板上的晶周盒;

其中,所述物料模组上设置有用于所述芯片对中的对中装置,所述对中装置设置在所述固定板的一端,所述对中装置包括第一对中部和第二对中部;所述第一对中部上设置有圆弧形的第一对中面;所述第二对中部上设置有圆弧形的第二对中面;

所述第一对中面和第二对中面的底部在同一平面上,且关于对中装置的轴线对称。

2.根据权利要求1所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述第一对中部上还设置有圆弧形的第三对中面、和第五对中面;所述第二对中部上还设置有圆弧形的第四对中面、和第六对中面;

所述第一对中面、第三对中面、和第五对中面呈阶梯式排列在所述第一对中部的一端;所述第二对中面、第四对中面、和第六对中面呈阶梯式排列在所述第二对中部的一端;

第一对中部和第二对中部关于所述对中装置的轴线对称,且所述第一对中面与第二对中面的底端位于所述同一平面;所述第三对中面与第四对中面的底端位于所述同一平面;所述第五对中面与第六对中面的底端位于所述同一平面。

3.根据权利要求1所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述清洗模组有多个且并列设置在所述机架的中部,所述晶周盒对应设置在所述清洗模组的上方。

4.根据权利要求1所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述清洗模组包括用以固定芯片的芯片固定装置、用于冲洗所述芯片的纯净水喷头、和用于去除所述芯片的污垢的兆声单元;

所述纯净水喷头设置在所述芯片固定装置周侧,所述兆声单元设置在所述芯片固定装置周侧;

每个所述芯片固定装置的周侧均固定有所述纯净水喷头;

每两个所述芯片固定装置中间设置有所述兆声单元。

5.根据权利要求4所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述兆声单元包括第一支撑杆、与所述第一支撑杆可旋转连接的第二支撑杆、和兆声端部,所述第一支撑杆与所述机架固定,所述兆声端部固定在所述第二支撑杆的一端;

记所述兆声单元第一侧位的芯片固定装置为第一芯片固定装置,所述兆声单元第二侧位的芯片固定装置为第二芯片固定装置;

所述兆声单元包括:第一工作位、第二工作位、和第三工作位;

当兆声单元位于第一工作位时,所述兆声单元远离所述第一芯片固定装置和第二芯片固定装置;

当兆声单元位于第二工作位时,所述兆声单元位于所述第一芯片固定装置的正上方;

当兆声单元位于第三工作位时,所述兆声单元位于所述第二芯片固定装置的正上方。

6.根据权利要求1所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述机械手模组包括用于取料和放料的机械手、带动机械手运动的运动单元、及用于固定所述机械手的固定板;

所述机械手包括与所述运动单元连接的第一机械手臂和第二机械手臂、与所述第一机械手臂固定的第一取放吸盘、和与第二机械手臂固定的第二取放吸盘;

所述固定板上设置有若干排固定孔,所述第一机械手臂和第二机械手臂可移动的通过所述固定孔设置在所述固定板上。

7.根据权利要求4所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述清洗模组包括位于所述芯片固定装置上方的洁净毛刷、以及用于将洗刷完毕的所述芯片旋干的旋转装置。

8.根据权利要求7所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述芯片固定装置顶部设置在所述旋转装置的顶部,所述旋转装置带动所述芯片固定装置旋转,固定在所述芯片固定装置上的芯片旋转。

9.根据权利要求1所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述机架外侧设置有采用PLC程序控制的主控系统,所述主控系统为按键式加触摸屏的操作模式,用于操作,修改所述芯片单面刷洗机上的参数。

10.根据权利要求1所述的芯片单面刷洗机,其特征在于,所述机架顶部设置有净化单元,用于对所述机架内的环境进行净化。

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