[实用新型]双阴极沉积装置

权利要求书

1.双阴极沉积装置，其特征在于：包括传输组件、设置于传输组件下方的溅射机构及蒸镀机构，所述传输组件的一侧设置有用于驱动所述传输组件转动的驱动机构，所述驱动机构工作，带动置于所述传输组件上的基片在蒸镀机构和溅射机构之间进行传输。

2.如权利要求1所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述溅射机构与蒸镀机构之间设置有挡板，所述传输组件带动所述基片由所述蒸镀机构上方向所述溅射机构方向传输。

3.如权利要求1所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述传输组件包括多个连接轴及套置于连接轴两端的支撑轮，所述连接轴通过安装座架设于支座上，所述连接轴等间距设置于所述支座上。

4.如权利要求3所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述连接轴的一端延伸设置于所述支座外，且延伸出的一端上设置有同步轮，相邻连接轴上的同步轮之间通过同步带连接。

5.如权利要求4所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述驱动机构为电机，所述电机的电机轴与一同步轮连接。

6.如权利要求3所述的双阴极沉积装置，其特征在于，同一连接轴上的所述支撑轮之间的距离小于基片的长度，相邻连接轴上的支撑轮之间的距离小于基片的宽度。

7.如权利要求5所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述电机的电机轴通过磁流体密封件与同步轮连接。

8.如权利要求1所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述溅射机构包括条形溅射靶材。

9.如权利要求1所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述蒸镀机构至少设置有两个，包括至少一个电阻加热蒸镀源蒸镀机构和电子束加热蒸镀源蒸镀机构。

10.如权利要求9所述的双阴极沉积装置，其特征在于，所述电阻加热蒸镀源蒸镀机构及所述电子束加热蒸镀源蒸镀机构依次沿所述双阴极沉积装置的进口端向出口端方向分布。