[实用新型]一种双芯片粘片机有效
申请号: | 202021618419.0 | 申请日: | 2020-08-06 |
公开(公告)号: | CN212412015U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 蒙国荪;葛时建;夏郁权 | 申请(专利权)人: | 桂林立德智兴电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 541004 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 粘片机 | ||
1.一种双芯片粘片机,其特征在于,包括进料器、加热导轨、送料机构、上料机构、自动扩晶机构A、自动扩晶机构B、芯片拾放机构、三轴联动机构、收料器和中转台;
所述加热导轨设在工作台上,进料器设在加热导轨一端的工作台上,收料器设在加热导轨另一端的工作台上;所述送料机构将待粘片的框架搬运至加热导轨上;所述收料器将已粘片的框架收集;
所述送料机构设在加热导轨一侧的工作台上,用于搬运进料器上待粘片的框架,从加热导轨一端运输到加热导轨的另一端;
所述自动扩晶机构A、芯片拾放机构、自动扩晶机构B和三轴联动机构依次设在加热导轨另一侧的工作台上;中转台固定在三轴联动机构上用于中转置放芯片;三轴联动机构上还设有两个旋转吸头;
所述上料机构设在芯片拾放机构和三轴联动机构之间的工作台上,用于为加热后待粘片的框架进行点焊料或点/画锡;芯片拾放机构从自动扩晶机构A上吸取芯片a移动至中转台上;三轴联动机构的两个旋转吸头分别吸取中转台上的芯片a和扩晶机构B上的芯片b移动到加热导轨的粘片工位上,将芯片a、b置于已点焊料或点画/锡的基岛上,完成双芯片的粘片过程;
所述的进料器、加热导轨、送料机构、上料机构、自动扩晶机构A、自动扩晶机构B、芯片拾放机构、三轴联动机构、收料器和旋转吸头分别与控制系统连接。
2.根据权利要求1所述的一种双芯片粘片机,其特征在于,所述的三轴联动机构,架设在工作台上,包括支撑座,以及设在支撑座上的X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组,Y轴直线模组与X轴直线模组在水平方向垂直连接,Z轴直线模组与X轴直线模组、Y轴直线模组在X-Y坐标系基准面上垂直连接,两个旋转吸头设在X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组构成的三轴模组上,中转台设在支撑座上,控制系统分别与X轴直线模组、Y轴直线模组、Z轴直线模组和旋转吸头连接,控制系统控制旋转吸头分别从自动扩晶机构B和中转台上依次吸取两种不同芯片,再控制X轴直线模组、Y轴直线模组、Z轴直线模组联合运动,使旋转吸头上的芯片依次贴合到框架基岛上完成粘片动作。
3.根据权利要求1所述的一种双芯片粘片机,其特征在于,所述的上料机构,为点焊料机构或点画锡机构。
4.根据权利要求1所述的一种双芯片粘片机,其特征在于,所述的芯片拾放机构为摆臂机构或直线机构,用于将芯片从自动扩晶机构A上吸取芯片a移动至中转台上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造