[实用新型]铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置

说明书

本实用新型公开了铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，包括多个支撑杆、多个第二固定柱、多个第一固定柱和储水箱，所述支撑杆的顶部焊接有安装环，安装环的一侧通过螺栓固定有加热罐，加热罐的底部内壁通过螺栓固定有安装板，安装板的顶部通过螺栓固定有温度传感器，安装板的上表面设有加热板，且加热罐的一侧设有隔热门，所述加热罐的内部设有加热锅，且加热罐的顶部焊接有蒸馏管，蒸馏管的一端与储水箱相连接。本实用新型能够利用水蒸气液化时散发的温度对加热罐进行保温，充分利用加热时产生的热能，提高了提纯的效率，且实现了对六氟乙酰丙酮的提纯，提高六氟乙酰丙酮的利用率。

技术领域

本实用新型涉及脱水提纯技术领域，尤其涉及铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置。

背景技术

六氟乙酰丙酮是一种重要的有机中间体，在许多领域有着广泛的应用，六氟乙酰丙酮与金属结合成金属-二酮化合物，作为金属有机前驱体，广泛用于沉积生长各种功能薄膜材料，如氧化物超导薄膜、电致发光薄膜、铁电氧化物薄膜等，然而，目前市场上的脱水提纯装置仍然不能满足生产需要。

脱水提纯装置是一种通过加热蒸馏的方法，把不同沸点的物质，分离出来，六氟乙酰丙酮铜是一种有机化合物，是具有吸湿性的固体，一般的脱水提纯装置的能量利用率比较低，不能有效的利用能量，现在急需一种铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，包括多个支撑杆、多个第二固定柱、多个第一固定柱和储水箱，所述支撑杆的顶部焊接有安装环，安装环的一侧通过螺栓固定有加热罐，加热罐的底部内壁通过螺栓固定有安装板，安装板的顶部通过螺栓固定有温度传感器，安装板的上表面设有加热板，且加热罐的一侧设有隔热门，所述加热罐的内部设有加热锅，且加热罐的顶部焊接有蒸馏管，蒸馏管的一端与储水箱相连接，蒸馏管与加热罐的圆周外壁相绕接。

优选的，所述安装板的底部内壁通过螺栓固定有滑轨，滑轨内滑动连接有滑块，且滑块的顶部与加热锅的底部固定连接。

优选的，所述加热罐的圆周内壁通过螺栓固定有多个固定杆，固定杆的一端通过螺栓固定有防水盖。

优选的，所述第一固定柱的顶部通过螺栓固定有干燥箱，且干燥箱的内部设有干燥板。

优选的，所述储水箱的顶部焊接有干燥管，且干燥管与干燥箱相连通。

优选的，所述第二固定柱的顶部通过螺栓固定有鼓风机，且鼓风机与干燥箱相连通。

优选的，所述鼓风机的一侧焊接有回流管，且回流管与加热罐相连通。

优选的，所述加热罐的底部焊接有出水管，出水管与储水箱相连通。

本实用新型的有益效果为：

1.通过蒸馏管与加热罐绕接的设置能够利用水蒸气液化时散发的温度对加热罐进行保温，充分利用加热时产生的热能，提高了提纯的效率。

2.通过滑块的设置能够在滑块的配合下进行滑动，从而将加热锅从加热罐中拉出来，方便快捷，且省时省力。

3.通过加热板的设置能够在加热锅的配合下对六氟乙酰丙酮进行加热，将六氟乙酰丙酮中含有的水分蒸发成水蒸气，在蒸馏管的配合下，将水蒸气液化成水滴，实现了对六氟乙酰丙酮的提纯，提高六氟乙酰丙酮的利用率。

4.通过干燥管的设置能够在鼓风机的作用下，将从加热罐内出来的空气抽进干燥箱内，通过干燥板进行干燥处理，再通过回流管将干燥的空气送进加热罐中，实现资源的循环利用，提高资源的利用率。

附图说明