[实用新型]铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置

权利要求书

1.铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，包括多个支撑杆(4)、多个第二固定柱(10)、多个第一固定柱(8)和储水箱(5)，其特征在于，所述支撑杆(4)的顶部固定连接有安装环(3)，安装环(3)的一侧固定连接有加热罐(2)，加热罐(2)的底部内壁固定连接有安装板(18)，安装板(18)的顶部固定连接有温度传感器(21)，安装板(18)的上表面设有加热板(19)，且加热罐(2)的一侧设有隔热门(6)，所述加热罐(2)的内部设有加热锅(15)，且加热罐(2)的顶部固定连接有蒸馏管(1)，蒸馏管(1)的一端与储水箱(5)相连接，蒸馏管(1)与加热罐(2)的圆周外壁相绕接。

2.根据权利要求1所述的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，其特征在于，所述安装板(18)的底部内壁固定连接有滑轨(17)，滑轨(17)内活动连接有滑块(16)，且滑块(16)的顶部与加热锅(15)的底部固定连接。

3.根据权利要求1所述的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，其特征在于，所述加热罐(2)的圆周内壁固定连接有多个固定杆(14)，固定杆(14)的一端固定连接有防水盖(13)。

4.根据权利要求1所述的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，其特征在于，所述第一固定柱(8)的顶部固定连接有干燥箱(9)，且干燥箱(9)的内部设有干燥板(20)。

5.根据权利要求4所述的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，其特征在于，所述储水箱(5)的顶部固定连接有干燥管(7)，且干燥管(7)与干燥箱(9)相连通。

6.根据权利要求4所述的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，其特征在于，所述第二固定柱(10)的顶部固定连接有鼓风机(11)，且鼓风机(11)与干燥箱(9)相连通。

7.根据权利要求6所述的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，其特征在于，所述鼓风机(11)的一侧固定连接有回流管(12)，且回流管(12)与加热罐(2)相连通。

8.根据权利要求1所述的铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，其特征在于，所述加热罐(2)的底部固定连接有出水管，出水管与储水箱(5)相连通。