[实用新型]一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备，膜厚修正机构包括：修正板；跳动组件，所述跳动组件与所述修正板连接，且，所述跳动组件可支撑并调节所述修正板的使用位置；其中，所述修正板包括第一状态和第二状态，其中，所述第一状态下，所述修正板处于横向水平位置；所述第二状态下，所述修正板处于纵向垂直位置。该种用于蒸发镀膜设备的膜厚修正机构，镀膜时修正板跳上升起，未镀膜时跳下摆动，与腔体壁平行，腔体内的空间无遮挡，适应于台车等升降机械的作业，实现较高腔体的镀锅的自动化装取，提高工作效率，减少作业人员的登高作业，提高安全性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备。

背景技术

在高精度真空蒸发镀膜设备领域，对于镀膜均匀性的要求很高，通常采用公转镀锅的方式，并在蒸发镀膜时，进行镀锅的回转。把需要镀膜的基片固定在镀锅上，在镀锅的下部设置膜厚修正板。公转方式蒸发镀膜，蒸发源通常设置在镀锅下部，腔体的底部。在蒸发镀膜时，为了纠正镀锅中心部位的膜比较厚，镀锅边缘部分的膜比较薄的现象，采用修正板的方式，把基片靠近镀锅中心部位的膜厚进行减少，达到与靠近边缘部位的膜的厚度近似相等，差值越小，均匀性越高，对镀膜产品的品质越好。

目前镀膜设备的修正板是采用固定式的修正板。在镀锅的下部设置一个固定的横杆，横杆上设置螺丝，修正板通过螺丝固定在横杆上。当金属蒸发时，由于修正板的遮挡，镀锅中心部分基片蒸发到的金属减少，使得镀锅中心部位基片的蒸发膜厚度与镀锅边缘基片蒸发膜厚度近似相等，实现高的均匀性。当蒸发镀膜设备的腔体高度比较高时，镀锅的高度比较高或比较重时，超过作业员可以徒手作业的高度，需要借助台车等工具进行镀锅的取放时，由于修正板的横杆的遮挡，台车的手臂活动空间不足，不能使用。使用梯子登高作业时，由于在高处伸出手臂去拿取比较重的镀锅，存在安全隐患，镀锅和人存在掉落的风险较高，且作业效率不高，无法实现量产。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种用于蒸发镀膜设备的膜厚修正机构，镀膜时修正板跳上升起，未镀膜时跳下摆动，与腔体壁平行，腔体内的空间无遮挡，适应于台车等升降机械的作业，满足重型镀锅的取放作业。

本实用新型保护一种膜厚修正机构，包括：

修正板；

跳动组件，所述跳动组件与所述修正板连接，且，所述跳动组件可支撑并调节所述修正板的使用位置；

其中，所述修正板包括第一状态和第二状态，其中，所述第一状态下，所述修正板处于横向水平位置；所述第二状态下，所述修正板处于纵向垂直位置。

在其中一个实施例中，所述跳动组件包括：

跳动撑杆，所述跳动撑杆与所述修正板连接；

驱动件，所述驱动件与所述跳动撑杆连接，且，所述驱动件驱动所述跳动撑杆运动，调节所述跳动撑杆的位置。

在其中一个实施例中，所述驱动件包括回转气缸、与所述回转气缸连接的传动轴、与所述传动轴连接的传动齿轮以及与所述传动齿轮连接的从动齿轮；其中，所述从动齿轮与所述跳动撑杆连接。

一种蒸发镀膜设备，包括上述的膜厚修正机构。

实施本实用新型的一种用于蒸发镀膜设备的膜厚修正机构至少具有以下有益效果：

修正板安装在跳动撑杆上，当金属蒸发时，修正板自动向上跳跃移动，旋转到与镀锅平行的位置，起到在蒸发时修正膜厚的作用；蒸发完成时，修正板向下跳动旋转，转到与腔体壁平行的位置，腔体内部的空间就没有遮挡，镀锅装取台车的手臂可以在腔体内自由快速升降，进行镀锅的安装和取下，实现较高腔体的镀锅的自动化装取，提高工作效率，减少作业人员的登高作业，提高安全性。

附图说明