[实用新型]一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 202021592583.9 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN212800517U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王福平 | 申请（专利权）人： | 爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 阴知见 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 修正 机构 蒸发 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜厚修正机构，其特征在于，包括：
修正板；
跳动组件，所述跳动组件与所述修正板连接，且，所述跳动组件可支撑并调节所述修正板的使用位置；
其中，所述修正板包括第一状态和第二状态，其中，所述第一状态下，所述修正板处于横向水平位置；所述第二状态下，所述修正板处于纵向垂直位置。
2.根据权利要求1所述的膜厚修正机构，其特征在于，所述跳动组件包括：
跳动撑杆，所述跳动撑杆与所述修正板连接；
驱动件，所述驱动件与所述跳动撑杆连接，且，所述驱动件驱动所述跳动撑杆运动，调节所述跳动撑杆的位置。
3.根据权利要求2所述的膜厚修正机构，其特征在于，所述驱动件包括回转气缸、与所述回转气缸连接的传动轴、与所述传动轴连接的传动齿轮以及与所述传动齿轮连接的从动齿轮；其中，所述从动齿轮与所述跳动撑杆连接。
4.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括至少一个如权利要求1-3任一项所述的膜厚修正机构。
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