[实用新型]一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器

说明书

本实用新型公开了一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，包括激光二极管模块、准直器、光强稳定模块、闪耀光栅、输出反射镜、输出偏振分光模块、二维调整模块、柔性调整平台、压电陶瓷a、压电陶瓷b、频率稳定模块、底板、弹性阻尼器、罩壳。本申请采用双压电陶瓷驱动柔性调整平台实现闪耀光栅转动和平移，能够在调整光栅角度时调整外腔长度，使外腔中保持一个固定的纵模，从而实现宽频无跳模调谐；本申请在需要进行原子吸收光谱特性分析时，可采用频率调谐模式，在需要稳定的激光束时可采用稳光强和稳频模式；输出反射镜和闪耀光栅一起放置于柔性调整平台上，调谐过程中输出光束不发生偏转。

技术领域

本实用新型属于激光器技术领域，具体涉及一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器。

背景技术

半导体激光二极管由于体积小、线宽窄，广泛用于小型原子钟、原子磁强计以、原子陀螺等原子传感器领域。在上述原子传感器开发实验阶段，需要对原子吸收光谱进行精确实验测定和分析；在原子传感器工作时还需要对激光器的频率、光强进行精确锁定。现有商用激光二极管虽然有很窄的线宽，但频率很容易受到温度、电流等影响而发生漂移，光强也会随着器件老化等因素缓慢变化。因此，在上述原子传感器实验室研究阶段，需要一种具有较宽的相位连续调谐范围，同时具备稳频和稳光强功能的激光器。

专利号为201711277855.9的发明专利公开了一种795nm激光稳频系统及其稳频方法，在该专利中公开的内容只能实现特定频率的稳频，不能进行宽频率调谐，也不具备稳光强功能。现有关于Littrow型外腔调谐激光器，为了实现调谐，在工作时通过旋转光栅，但光栅的旋转的同时，外腔长度不可避免方式改变，难以实现宽频无跳模调谐。

专利号为US7970024B2的发明专利提出了一种调谐式外腔激光二极管激光器，在该专利公开的内容中采用一个压电陶瓷驱动柔性铰链机构实现调谐，具有复杂的机械调节机构，通过独特的机构实现一个压电陶瓷驱动下光学谐振腔模式与衍射中心匹配，但调节效果依赖于装调精度。

专利号为201710544609.9的发明专利公开了一种外腔式半导体激光器结构，通过调整光栅与激光器距离改变外腔长度实现调谐，没有调节光栅角度，公开内容没有指明能否实现宽频无跳模调谐。

在现有技术中，采用Littrow配置的光栅反馈外腔半导体激光器，在调整光栅角度过程中不可避免的改变外腔长度，难以实现无跳模宽频调谐，需要设计复杂的机构应对此问题；输出光容易受到光栅转动而发生方向变化；没有一种能够具备宽频无跳模调谐、稳频稳光强两种工作模式的光栅反馈外腔激光器，以应对原子传感器实验室研发阶段对调谐、稳光强稳频的需求。

因此急需研发出一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器来解决以上问题。

发明内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供了一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，包括：

底板；底板中心处开设有空腔；

闪耀光栅；

二维调整模块；闪耀光栅固定在二维调整模块上，二维调整模块用于在水平方向上对闪耀光栅的位置进行调节；

输出反射镜；

柔性调整平台；二维调整模块和输出反射镜均置于柔性调整平台上；柔性调整平台置于底板的空腔内，柔性调整平台通过柔性连接机构与底板连接；

压电陶瓷a；

压电陶瓷b；压电陶瓷a和压电陶瓷b均置于柔性调整平台和底板之间的水平空隙中，且电陶瓷a的作用端和压电陶瓷b的作用端分别与柔性调整平台连接；