[实用新型]一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器

权利要求书

1.一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，其特征在于：包括：

底板(25)；底板(25)中心处开设有空腔；

闪耀光栅(1)；

二维调整模块；闪耀光栅(1)固定在二维调整模块上，二维调整模块用于在水平方向上对闪耀光栅(1)的位置进行调节；

输出反射镜(15)；

柔性调整平台(13)；二维调整模块和输出反射镜(15)均置于柔性调整平台(13)上；柔性调整平台(13)置于底板(25)的空腔内，柔性调整平台(13)通过柔性连接机构(31)与底板(25)连接；

压电陶瓷a(2)；

压电陶瓷b(11)；压电陶瓷a(2)和压电陶瓷b(11)均置于柔性调整平台(13)和底板(25)之间的水平空隙中，且电陶瓷a(2)的作用端和压电陶瓷b(11)的作用端分别与柔性调整平台(13)连接；

激光二极管模块；

准直器(18)；

光强稳定模块；激光二极管模块、准直器(18)、光强稳定模块均位于底板(25)上方，且靠近二维调整平台的第一端；

输出偏振分光模块；

频率稳定模块；频率稳定模块位于底板(25)上方，且靠近二维调整平台的第二端；

激光驱动电路；激光驱动电路与激光二极管模块电性连接；

压电驱动电路；

用于解调出偏离原子吸收谱中心的误差信号的信号处理电路；信号处理电路的信号端口与控制器的信号端口连接；

控制器；控制器的控制信号输出端与压电驱动电路的控制信号输入端连接，压电驱动电路的控制信号输出端分别与压电陶瓷a(2)的控制信号输入端、压电陶瓷b(11)的控制信号输入端连接；

光强探测模块(16)；光强探测模块(16)用于接收入射光，将光强信号转变为电信号，控制器用于接收该电信号；控制器的控制信号输出端与激光驱动电路的控制信号输入端连接；

激光二极管模块发出一束激光，经过准直器(18)后通过偏振分光第一路沿入射方向照射到闪耀光栅(1)表面，第二路沿垂直入射方向进入光强稳定模块；入射到闪耀光栅(1)上的入射光以特定的入射角入射，经闪耀光栅(1)衍射后，-1阶衍射光沿入射光方向返回进入激光二极管模块，0阶衍射光入射到输出反射镜(15)上，经输出反射镜(15)反射后入射到输出偏振分光模块，由输出偏振分光模块分为垂直的两路光，第一路为输出光束，第二路垂直光入射到频率稳定模块。

2.根据权利要求1所述的一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，其特征在于，激光二极管模块包括：

激光二极管(20)；

激光安装座(21)；激光安装座(21)固定在底板(25)上方，激光二极管(20)固定在激光安装座(21)内的通孔中；

温度补偿元件(19)；激光二极管(20)通过温度补偿元件(19)实现恒温控制；温度补偿元件(19)安装在激光安装座(21)表面；

热沉(22)；热沉(22)安装在温度补偿元件(19)上。

3.根据权利要求1所述的一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，其特征在于，光强稳定模块包括1/2波片Ⅲ(23)、偏振分光镜PBSⅢ(24)、光电探测器。

4.根据权利要求1所述的一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，其特征在于，输出偏振分光模块包括1/2波片Ⅱ(10)、偏振分光镜PBSⅡ(9)。

5.根据权利要求1所述的一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，其特征在于，频率稳定模块包括1/2波片Ⅰ(8)、偏振分光镜PBSⅠ(6)、反射镜(7)、碱金属气室(4)、参考气室(5)、差分式光电探测器(3)；输出偏振分光模块的第二路垂直光入射到频率稳定模块；经过1/2波片Ⅰ(8)的光再经偏振分光镜PBSⅠ(6)后，透射光进入碱金属气室(4)；经过1/2波片Ⅰ(8)的反射光经反射镜(7)反射后进入参考气室(5)；经过碱金属气室(4)、参考气室(5)的激光束由差分式光电探测器(3)接收。