[实用新型]一种用于金刚石生成的通孔式换热器

说明书

本实用新型的目的是提供一种用于金刚石生成的通孔式换热器，其特征在于：由进气管道、多个进气管孔、三个换热输送管、换热循环管、换热介质进口和换热介质出口组成，每个换热输送管设有排气口，换热介质进口设有换热调节阀；整个设施结构简单、操作方便，用于金刚石生成的舱体中，安全性更高，采用多个进气管孔来对舱体内部的进气流进行收集，这些进气管孔的密集均匀分布能够将舱体内部的进气流进行分散式的收集，并且使得气流的进入更加细致，让需要换热的气流更加缓慢的行进，避免笼统式的进气收集所带来的换热效果不佳的缺陷，配合缠绕式的换热器循环管来对每个宽体结构的换热管中的缓慢气流进行充分换热，提升了机体工作效率和换热质量。

技术领域

本实用新型涉及金刚石机加工生产领域，尤其涉及一种用于金刚石生成的通孔式换热器。

背景技术

金刚石的制备反应是一种多用途化学气相沉积的过程，通过一个密闭的舱体进行沉积反应，而换热器是将整个装置内部腔体分隔为上部的沉积反应室和下部的气体收集室两部分，通过等离子体源配合反应舱体内部的换热器来准确地把控沉积环境，因此，换热器是金刚石生成过程中非常重要的组成部件；目前所使用的换热器的结构都是延续传统固有的模式，都是采用开口较宽的笼统式进气收集结构，这样对于换热过程中的气流把控的效果做得不是特别到位，气流流速过快，使得换热器不能对换热气体进行彻底、细致的换热，直接影响到产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供了一种用于金刚石生成的舱体中，采用多个进气管孔来对舱体内部的进气流进行收集，这些进气管孔的密集均匀分布能够将舱体内部的进气流进行分散式的收集，并且使得气流的进入更加细致，让需要换热的气流更加缓慢的行进，避免笼统式的进气收集所带来的换热效果不佳的缺陷，此外，配合缠绕式的换热器循环管来对每个宽体结构的换热管中的缓慢气流进行充分换热，从而提升了机体工作效率和换热质量，进而提高了产品加工品质的通孔式换热装置。

本实用新型的技术方案为：一种用于金刚石生成的通孔式换热器，其特征在于：由进气管道、多个进气管孔、三个换热输送管、换热循环管、换热介质进口和换热介质出口组成，所述多个进气管孔呈阵列结构均匀分布在进气管道的一侧，所述多个进气管孔均与进气管道为固定连接，所述三个换热输送管之间间隔相同的距离水平平行位于进气管道的另一侧，所述三个换热输送管均与进气管道为固定连接，任意所述换热输送管上还设有排气口，所述排气口位于远离进气管道的换热输送管的一端，所述排气口与换热输送管为固定连接，所述换热循环管位于三个换热输送管的外侧，所述换热循环管与三个换热输送管为固定连接，所述换热介质进口位于换热循环管的一端，所述换热介质进口与换热循环管为固定连接，所述换热介质进口上还设有换热调节阀，所述换热调节阀与换热介质进口为固定连接，所述换热介质出口位于换热循环管的另一端，所述换热介质出口与换热循环管为固定连接。

进一步，所述进气管道为矩形结构。

进一步，所述三个换热输送管均为两端窄、中间宽的通体结构。

进一步，所述排气口为斗形结构。

进一步，所述换热循环管为螺旋缠绕结构。

进一步，所述换热调节阀为手动轮盘旋转式球形阀。

本实用新型的有益效果在于：该机构是一种用于金刚石生成的舱体中的通孔式换热装置，整个设施结构简单、操作方便，安全性更高，采用多个进气管孔来对舱体内部的进气流进行收集，这些进气管孔的密集均匀分布能够将舱体内部的进气流进行分散式的收集，并且使得气流的进入更加细致，让需要换热的气流更加缓慢的行进，避免笼统式的进气收集所带来的换热效果不佳的缺陷，此外，配合缠绕式的换热器循环管来对每个宽体结构的换热管中的缓慢气流进行充分换热，从而提升了机体工作效率和换热质量。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为本实用新型的进气管孔在进气管道上的分布结构示意图。