[实用新型]密封装置及具有其的真空设备

说明书

本实用新型涉及真空密封技术领域，提出了一种密封装置及具有其的真空设备。密封装置适用于真空设备，包括密封座、V组密封结构以及挡料密封结构，密封座用于套设在真空设备的运动轴上，密封座与运动轴之间形成有第一容纳腔和第二容纳腔，第一容纳腔和第二容纳腔间隔设置，且第一容纳腔相比于第二容纳腔更远离真空设备的真空腔；V组密封结构设置在第一容纳腔内，V组密封结构的开口背离真空腔；挡料密封结构设置在第二容纳腔内。通过在密封座与运动轴之间设置有V组密封结构和挡料密封结构，既可以保证可靠的真空密封，又可以防止真空腔内的物料泄漏，且密封有磨损补偿，可以大大延长使用寿命，成本较低且可靠性高。

技术领域

本实用新型涉及真空密封技术领域，尤其涉及一种密封装置及具有其的真空设备。

背景技术

在真空相关的机器设备中，往复运动的动密封一般采用多道O型密封圈密封，以及焊接式波纹管密封。

O型密封圈是最常用的一种形式，结构简单、成本低，缺点是可靠性差、容易泄露，不适用于线速度高的场合，磨损后补偿性差。而波纹管密封是靠波纹管的伸缩起到往复运动的密封作用，因为只有静密封所以密封效果非常好，非常适合中、高真空使用，但是其价格昂贵，且长期使用波纹管容易疲劳开裂。

实用新型内容

本实用新型提供一种密封装置及具有其的真空设备，以解决现有技术中的真空密封方式可靠性较低的问题。

根据本实用新型的第一个方面，提供了一种密封装置，适用于真空设备，包括：

密封座，密封座用于套设在真空设备的运动轴上，密封座与运动轴之间形成有第一容纳腔和第二容纳腔，第一容纳腔和第二容纳腔间隔设置，且第一容纳腔相比于第二容纳腔更远离真空设备的真空腔；

V组密封结构，V组密封结构设置在第一容纳腔内，V组密封结构的开口背离真空腔；

挡料密封结构，挡料密封结构设置在第二容纳腔内。

在本实用新型的一个实施例中，V组密封结构包括多个V型圈，多个V型圈相连接。

在本实用新型的一个实施例中，挡料密封结构为第一防尘密封圈，第一防尘密封圈由聚四氟乙烯和O形圈组合而成。

在本实用新型的一个实施例中，密封座与运动轴之间形成有第三容纳腔，第三容纳腔与第一容纳腔间隔设置，第一容纳腔位于第二容纳腔和第三容纳腔之间，密封装置还包括：

第二防尘密封圈，第二防尘密封圈设置在第三容纳腔内。

在本实用新型的一个实施例中，密封座包括：

本体，本体包括相连通的第一孔段和第二孔段，第一孔段的孔径大于第二孔段的孔径，V组密封结构设置在第一孔段内；

压紧部，压紧部设置在第一孔段内，并压设在V组密封结构远离第二孔段的一端；

其中，压紧部上设置有安装槽，第二防尘密封圈设置在安装槽内。

在本实用新型的一个实施例中，密封座还包括：

固定体，本体连接于固定体远离真空腔的一端，固定体与真空腔相邻设置，固定体包括相连通的第三孔段和第四孔段，第三孔段的孔径大于第四孔段的孔径，第三孔段远离第四孔段的一端与第二孔段相连通，第三孔段的孔径大于第二孔段的孔径，挡料密封结构设置在第三孔段内，且与本体相抵接。

在本实用新型的一个实施例中，本体与固定体之间形成有第四容纳腔，密封装置还包括：

O型密封圈，O型密封圈设置在第四容纳腔内。

在本实用新型的一个实施例中，密封座上设置有第二安装槽，密封装置还包括：

导向环，导向环设置在第二安装槽内，运动轴穿设在导向环内；