[实用新型]密封装置及具有其的真空设备

权利要求书

1.一种密封装置，适用于真空设备，其特征在于，包括：

密封座(10)，所述密封座(10)用于套设在所述真空设备的运动轴(1)上，所述密封座(10)与所述运动轴(1)之间形成有第一容纳腔(11)和第二容纳腔(12)，所述第一容纳腔(11)和所述第二容纳腔(12)间隔设置，且所述第一容纳腔(11)相比于所述第二容纳腔(12)更远离所述真空设备的真空腔(2)；

V组密封结构(20)，所述V组密封结构(20)设置在所述第一容纳腔(11)内，所述V组密封结构(20)的开口(22)背离所述真空腔(2)；

挡料密封结构(30)，所述挡料密封结构(30)设置在所述第二容纳腔(12)内。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述V组密封结构(20)包括多个V型圈(21)，多个所述V型圈(21)相连接。

3.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述密封座(10)与所述运动轴(1)之间形成有第三容纳腔(13)，所述第三容纳腔(13)与所述第一容纳腔(11)间隔设置，所述第一容纳腔(11)位于所述第二容纳腔(12)和所述第三容纳腔(13)之间，所述密封装置还包括：

第二防尘密封圈(40)，所述第二防尘密封圈(40)设置在所述第三容纳腔(13)内。

4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述密封座(10)包括：

本体(14)，所述本体(14)包括相连通的第一孔段(141)和第二孔段(142)，所述第一孔段(141)的孔径大于所述第二孔段(142)的孔径，所述V组密封结构(20)设置在所述第一孔段(141)内；

压紧部(15)，所述压紧部(15)设置在所述第一孔段(141)内，并压设在所述V组密封结构(20)远离所述第二孔段(142)的一端；

其中，所述压紧部(15)上设置有第一安装槽(151)，所述第二防尘密封圈(40)设置在所述第一安装槽(151)内。

5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，所述密封座(10)还包括：

固定体(16)，所述本体(14)连接于固定体(16)远离所述真空腔(2)的一端，所述固定体(16)与所述真空腔(2)相邻设置，所述固定体(16)包括相连通的第三孔段(161)和第四孔段(162)，所述第三孔段(161)的孔径大于所述第四孔段(162)的孔径，所述第三孔段(161)远离所述第四孔段(162)的一端与所述第二孔段(142)相连通，所述第三孔段(161)的孔径大于所述第二孔段(142)的孔径，所述挡料密封结构(30)设置在所述第三孔段(161)内，且与所述本体(14)相抵接。

6.根据权利要求5所述的密封装置，其特征在于，所述本体(14)与所述固定体(16)之间形成有第四容纳腔(17)，所述密封装置还包括：

O型密封圈(50)，所述O型密封圈(50)设置在所述第四容纳腔(17)内。

7.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述密封座(10)上设置有第二安装槽(18)，所述密封装置还包括：

导向环(60)，所述导向环(60)设置在所述第二安装槽(18)内，所述运动轴(1)穿设在所述导向环(60)内；

其中，所述导向环(60)位于所述V组密封结构(20)和所述挡料密封结构(30)之间。

8.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述密封座(10)上设置导油通道(19)，润滑油通过所述导油通道(19)进入所述V组密封结构(20)与所述运动轴(1)之间。

9.一种真空设备，其特征在于，包括权利要求1至8中任一项所述的密封装置、运动轴(1)以及真空腔(2)，所述运动轴(1)相对于所述密封装置可移动地设置，以在所述真空腔(2)内活动。